[实用新型]滑轨式石墨舟卡点手动更换机

说明书

本实用新型属于太阳能电池制造领域，尤其涉及一种滑轨式石墨舟卡点手动更换机，包括石墨舟片定位模、装卸模、手动压机、移动滑轨组件，使用时由操作人员将待更换卡点的石墨舟片放置在石墨舟片定位模上，利用移动滑轨组件将石墨舟片定位模调整到合适位置，然后利用手动压机带动其下端的装卸模进行下压，对石墨舟片中的旧卡点进行卸载，可以一次性卸载多个旧卡点，工作效率高，旧卡点卸载之后，由操作人员将新卡点放置在石墨舟片的卡点孔洞中，然后利用装卸模对新卡点进行装配，可以一次性安装多个新卡点，本实用新型整体结构简单、占据空间小、制造成本低、操作使用方便、对操作人员技能要求不高且工作效率高，后期维护成本低，适于大范围推广使用。

技术领域

本发明属于太阳能电池制造领域，尤其涉及一种滑轨式石墨舟卡点手动更换机。

背景技术

随着太阳能电池的迅猛发展，越来越多的太阳能电池进入民用领域。在太阳能电池的生产过程中，PECVD（PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition，等离子体增强化学气相沉积法）镀膜工艺是生产流程中的重要环节，起到举足轻重的作用。PECVD是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜。硅片进行其表面镀膜工序时，需要将未镀膜的硅片插入PECVD 真空镀膜设备的载片器上。目前，载片器通常采用石墨舟，具体操作过程是：将硅片插入石墨舟并通过石墨舟卡点定位于其上，然后，将载有硅片的石墨舟放置在PECVD 真空镀膜设备中，采用PECVD 工艺对硅片进行镀膜。为了固定硅片于石墨舟中，石墨舟的石墨舟片上设有用于固定硅片的卡点，由于硅片在插取过程中会对卡点有一定的磨损，需要定期对卡点进行更换，以便保证石墨舟的良好状态，进而保证硅片的镀膜质量。

传统石墨舟卡点的更换方法操作步骤复杂且繁琐、同时对装配人员技能要求比较高，如果技能操作不到位会导致更换过程中石墨舟片和石墨舟卡点损坏或装配不到位，传统的石墨舟卡点更换操作方法是：石墨舟卡点需要使用到一台简易手动压机，同时压机两边需用泡沫板或橡胶皮垫垫得和手动压机平台一样的高度，操作人员坐在压机面前将石墨舟片平放置于手动压机平台上面，然后依次将石墨舟的24个卡点用手动压机卸下，石墨舟卡点卸下之后操作人员将要更换新的卡点放置于对应卡孔上面，小心翼翼的用左手扶好右手往下转动压机，手使的力度要把握好，如果使用的力度太大会把石墨舟和卡点压坏，如果使用的力度太小就压不到位，而且一次只能装一个卡点，压完一张石墨舟片的卡点后，继续下一张石墨舟片卡点的更换，一个石墨舟有27片组成，通常一天需要更换好几个这样的石墨舟卡点，人员操作复杂繁琐，常常因为来不及更换石墨舟卡点，而导致生产进度缓慢，一般情况下因为赶进度而损坏石墨舟片或卡点压不到位的情况非常多，导致硅片制作过程中损坏或脱落情况，影响产品质量。虽然市场上已经陆续出现多种石墨舟卡点自动更换机，但是由于这种自动更换机整体结构复杂，生产制造成本较高，操作过程繁琐，而且占据空间较大，对工作环境要求以及后期维护成本均比较高，在推广应用上存在极大的局限性。

发明内容

本发明的目的是解决上述现有技术的不足，提供一种整体结构简单、占据空间小、制造成本低、操作使用方便、对操作人员技能要求不高且工作效率高的滑轨式石墨舟卡点手动更换机。

本发明解决上述现有技术的不足所采用的技术方案是：

一种滑轨式石墨舟卡点手动更换机，其特征在于，包括：

石墨舟片定位模，供放置待更换卡点的石墨舟片并对其进行定位；

装卸模，设置在所述石墨舟片定位模上方，用于对所述石墨舟片中的旧卡点进行装卸；

手动压机，设置在所述装卸模上端，用于向所述石墨舟片中的旧卡点更换提供向下的压力，所述装卸模在所述手动压机的带动下在所述石墨舟片定位模上方进行上下位移；

移动滑轨组件，设置在所述石墨舟片定位模下方，所述石墨舟片定位模在所述移动滑轨组件的带动下进行左右位移。