[实用新型]一种同组份砷化镓多晶大合成量工艺装置

权利要求书

1.一种同组份砷化镓多晶大合成量工艺装置，包括加热炉（1）、加热室（2）和合成仓（3）以及控制箱体（4），其特征在于：所述加热炉（1）的内部设有加热室（2），所述加热炉（1）的基面固定安装有控制箱体（4），所述加热室（2）的内部设有合成仓（3），所述合成仓（3）的内壁底部固定安装有固定卡座（12），所述固定卡座（12）的顶部左侧从前至后依次设有温度传感器（13）和压力传感器（14），所述固定卡座（12）的内部放置有石英舟（15），所述石英舟（15）的内部从前至后交叠放置有高纯砷（16）和高纯镓（17），所述合成仓（3）的一侧贯通控制箱体（4）的内部，所述控制箱体（4）的基面左侧开设有通风孔（18），所述控制箱体（4）的内部贴近通风孔（18）的一侧固定安装有真空泵（10），所述真空泵（10）与合成仓（3）的内侧之间固定安装有连接管（11），所述的控制箱体（4）的基面右侧嵌入安装控制面板（5），所述控制箱体（4）的基面位于控制面板（5）的下侧安装有氮气进气管（8），所述氮气进气管（8）的另一端贯通控制箱体（4）的内部连接于合成仓（3），所述氮气进气管（8）上设置有连接阀（9），所述控制箱体（4）的基面上位于合成仓（3）的一侧固定安装有进料仓门（6），所述进料仓门（6）与控制箱体（4）的左侧连接处固定安装有门铰链（602），所述进料仓门（6）的基面上中心处固定安装有把手（601），所述进料仓门（6）的背部贴近合成仓（3）的一侧固定安装有密封塞（603），所述进料仓门（6）与控制箱体（4）的右侧固定安装有锁紧机构（7）。

2.根据权利要求1所述的一种同组份砷化镓多晶大合成量工艺装置，其特征在于：所述控制面板（5）上设有显示屏和多组控制按钮，且所述控制面板（5）与真空泵（10）、温度传感器（13）、压力传感器（14）内部电性连接。

3.根据权利要求1所述的一种同组份砷化镓多晶大合成量工艺装置，其特征在于：所述石英舟（15）共设有两组，且所述石英舟（15）的一侧设有套环。

4.根据权利要求1所述的一种同组份砷化镓多晶大合成量工艺装置，其特征在于：所述高纯砷（16）共设有多组。

5.根据权利要求1所述的一种同组份砷化镓多晶大合成量工艺装置，其特征在于：所述高纯镓（17）共设有多组。

6.根据权利要求1所述的一种同组份砷化镓多晶大合成量工艺装置，其特征在于：所述通风孔（18）等间距开设有多组。