[实用新型]一种双探针桌面台式扫描电镜

说明书

本实用新型公开了一种双探针桌面台式扫描电镜，包括底座盒，所述底座盒的顶部通过螺栓连接有主壳体，且主壳体的顶部通过螺栓连接有两个电子光学镜筒，所述主壳体的内部通过螺栓连接有隔离板，且主壳体内部通过隔离板分隔为两个样品室，两个所述样品室的两侧内壁均通过螺栓连接有电动导轨，且相邻的两个电动导轨之间通过导块连接有同一个载物台。本实用新型中，本装置中含有两个电子光学镜筒和样品室，在使用时，可以利用本装置同时对扫描样品和比对样品同时进行扫描，或同时应用于不同物质的扫描，显著的提高本装置的应用范围，可以有效的避免扫描电镜受到损坏，提高本装置的使用寿命。

技术领域

本实用新型涉及密封垫片技术领域，尤其涉及一种双探针桌面台式扫描电镜。

背景技术

探针扫描隧道电镜，又叫电子探针仪,它的工作原理是用一个针尖在离样品表面极近的位置慢慢划过，样品和针尖上加有恒定电压，随着针尖和样品起伏不平的表面原子距离的改变，二者间的电流会有变化，记录这个电流的变化进行处理后，可以得到表面的形貌像，完成对样品的扫描，主要用作测样品表面形貌。

现有的扫描电镜结构复杂，体积大，在使用时不方便，只具有单一的扫描探针，在扫描电镜使用时，需要将样品的扫描分开进行，耗费工作人员的时间，同时，分开进行扫描时，容易出现变差，使得对比效果变差。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种双探针桌面台式扫描电镜。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种双探针桌面台式扫描电镜，包括底座盒，所述底座盒的顶部通过螺栓连接有主壳体，且主壳体的顶部通过螺栓连接有两个电子光学镜筒，所述主壳体的内部通过螺栓连接有隔离板，且主壳体内部通过隔离板分隔为两个样品室，两个所述样品室的两侧内壁均通过螺栓连接有电动导轨，且相邻的两个电动导轨之间通过导块连接有同一个载物台，两个所述载物台的顶部均放置有试样载片，两个所述电子光学镜筒的内部顶端均通过螺栓连接有电子枪，且两个电子光学镜筒的内部上方均嵌装有聚光镜组，两个所述电子光学镜筒的内部底端均嵌装有物镜组，且两个电子光学镜筒的内部下方均嵌装有扫描线圈，两个所述电子光学镜筒的外壁内部均嵌装有螺旋状分布的散热盘管，且两个电子光学镜筒的底端均通过螺栓连接有电子束管，所述底座盒的内部通过螺栓连接有真空机，且真空机的入口端通过螺栓连接有三通真空阀。

优选的，两个所述电子光学镜筒的内部中间位置嵌装有消象散器，且消象散器位于聚光镜组与扫描线圈之间。

优选的，所述主壳体的一侧开设有两个矩形开口，且两个矩形开口的内部均嵌装有样品室封板。

优选的，所述主壳体的顶部一端通过螺栓连接有两个散热水箱，且两个散热水箱的顶端均通过螺栓连接有冷却水泵。

优选的，所述隔离板远离样品室的一侧通过螺栓连接有两个光学倍增管，且两个光学倍增管的入口端与两个试样载片相适配。

优选的，所述主壳体内部的一侧通过螺栓连接有视频放大器和扫描发生器。

优选的，所述真空机、三通真空阀和冷却水泵通过导线连接有开关。

本实用新型的有益效果为：

1、本实用新型提出的双探针桌面台式扫描电镜，结构简单，可以放置在桌面上即可使用，相对于传统的扫描电镜，节约了成本，同时，减少了扫描电镜的体积，使得本装置应用更加方便，本装置中含有两个电子光学镜筒和样品室，在使用时，可以利用本装置同时对扫描样品和比对样品同时进行扫描，或同时应用于不同物质的扫描，显著的提高本装置的应用范围。