[实用新型]修整组件和化学机械研磨设备有效
| 申请号： | 201821940014.1 | 申请日： | 2018-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN209125612U | 公开（公告）日： | 2019-07-19 |
| 发明（设计）人： | 汪康;田得暄;辛君;吴龙江;林宗贤 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | B24B53/017 | 分类号： | B24B53/017;B24B49/00 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 孙佳胤;董琳 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 抛光垫修整器 修整盘 修整组件 化学机械研磨设备 弹性密封层 连接面 抛光垫 抛光面 吸附 背面 实时侦测 液体液位 粗糙度 第一端 液位计 掉落 检测 挥发 盛放 修整 密封 贯穿 | ||
1.一种修整组件，其特征在于，包括：
修整盘，用于修整抛光垫的抛光面，使所述抛光垫的抛光面保持粗糙度；
抛光垫修整器，具有一连接面，用于吸附所述修整盘的背面；
检测单元，包括：
管道，部分所述管道位于所述抛光垫修整器内，贯穿所述抛光垫修整器，所述管道的第一端位于所述抛光垫修整器的连接面且端部通过一弹性密封层密封，当所述抛光垫修整器吸附于所述修整盘的背面时，所述弹性密封层与所述修整盘接触，所述管道内用于盛放耐挥发的液体；
液位计，设置于所述管道上，用于检测所述管道内的液体液位。
2.根据权利要求1所述的修整组件，其特征在于，所述弹性密封层包括第一弹性软片和第二弹性软片，所述第一弹性软片位于所述管道内，与液体接触；所述第二弹性软片位于所述第一弹性软片外侧的管道端部，与所述修整盘接触。
3.根据权利要求1所述的修整组件，其特征在于，还包括盖子，可拆卸地安装于所述管道的另一端端部。
4.根据权利要求3所述的修整组件，其特征在于，所述盖子具有滤网，使得所述管道内外气压平衡。
5.根据权利要求1所述的修整组件，其特征在于，所述液体为二甲基硅油。
6.根据权利要求1所述的修整组件，其特征在于，所述液位计为毛细管液位计。
7.根据权利要求1所述的修整组件，其特征在于，还包括报警单元，与所述液位计连接，用于当所述液位计检测到液体液位低于设定值时，发送报警信号。
8.根据权利要求1所述的修整组件，其特征在于，其特征在于，位于所述抛光垫修整器外部的管道包括至少一端毛细管。
9.一种化学机械研磨设备，其特征在于，包括：如权利要求1至8中任一项所述的修整组件。
10.根据权利要求9所述的化学机械研磨设备，其特征在于，还包括控制器，所述控制器连接至所述修整组件的液位计，用于当所述液位计检测到的液位低于设定值时，控制所述化学机械研磨设备停止工作。
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