[实用新型]一种多用途高负载高精滴定仪

说明书

本实用新型涉及一种多用途高负载高精滴定仪，包括控制箱，控制箱前端面上部设置有HMI界面，控制箱内设有滴定环境温控系统、缓冲剂气泡侦测系统、滴定剂气泡侦测系统、缓冲剂桶、滴定剂桶，缓冲剂桶通过管路连接缓冲剂泵，缓冲剂泵连接缓冲剂气泡侦测系统，滴定剂桶通过管路连接滴定剂气泡侦测系统，滴定剂桶与滴定剂气泡侦测系统之间装有逆止阀、滴定剂定量微升添加器，滴定剂气泡侦测系统连接滴定分析容器，滴定分析容器内设有PTFE磁转子，滴定分析容器底部装有磁感应搅拌马达，滴定分析容器上连接有PH计，滴定分析容器通过管路连接排液泵；本实用新型在同时满足在线式浓度监测的基础上，保证了测量的精度，实现了高负荷、高精度测量。

[技术领域]

本实用新型涉及化学品稀释技术领域，具体地说是一种多用途高负载高精滴定仪。

[背景技术]

半导体/液晶面板制造工艺中，经常需要使用同一药品的不同浓度的药品，例如氢氟酸就有HF49％、HF5％、HF1％、HF0.5％等，氢氧化钾有KOH25％、KOH4.5％、KOH0.045％等。另外，在Slurry供应系统中，需要将同一种药品添加到不同的Slurry中，如将浓度为30％的双氧水H2O2添加到W2000、W7300、HST3601等，要求混合液中的H2O2浓度为2％等。这些药品通常使用稀释设备来调配出合格浓度的药品，传送到供应设备中存储，由供应设备供应到全厂所有的使用点。现有的工艺中，通常使用浓度计来测量浓度。因为浓度计的测量时间短，可实时监测，在特定工艺下可以保证稳定性和准确性，而且不需要耗材。为保证浓度计的准确性，需要定期取样送实验室分析浓度，确认浓度计的测量结果和实验室的分析结果在合格的偏差内。

随着半导体技术的飞速提高，对浓度精度也在提高，通常要求稀释设备在使用浓度计测量得出测量结果值的同时，在线使用滴定仪测量得出分析结果值，比较测量结果值和分析结果值，确保两者在规定的范围内，保证系统的稳定性，在线式滴定仪的使用需求在快速增长。同时，在供应设备，为保证供应到设备的药品品质，也需要测量药品浓度。通常需要定期取样送实验室分析浓度，所需时间比较长，现在也出现在供应设备出口增加在线式滴定仪的需求。

滴定仪的原理是使用酸碱中和反应，通过测量PH或电位的变化检测出中和反应的终点，根据试剂和试样的浓度和用量来计算出浓度。滴定仪的测量结果在现有的所有浓度测量的方式中最为准确，在使用过程中，对环境的要求比较高，对操作人员的要求也高，通常都安装在实验室中，由专业人员专门操作运行。在线式滴定仪安装在化学品供应系统的房间内，环境变化比较大，测量频率高负载大，又是自动运行，长时间没有操作人员的维护，在实际的生产过程中，滴定仪的测量精度经常达不到设计要求的规定。而在现有滴定仪的长期维护过程中，影响到在线式滴定仪的精度的大多原因为：1、温度变化，房间的昼夜温度变化大约在21-26度之间，季节变化在18-28度之间。2、气泡影响，包括试样中的气泡和试剂中的气泡。3、清洗不彻底，反应容器中管路设计不合理，清洗后有残留，没有干燥装置。

因此，现有滴定仪主要存在以下问题和缺点：

(1)无法对应房间温度变化；

(2)无法检测试样和试剂中的气泡；

(3)反应容器中管路设计不合理，清洗后有残留，没有干燥装置；

(4)试剂变性后无法检测。

[实用新型内容]

本实用新型的目的就是要解决上述的不足而提供一种多用途高负载高精滴定仪，在同时满足在线式浓度监测的基础上，保证了测量的精度，实现了高负荷、高精度测量。