[实用新型]一种硅片自分片传送定位系统有效

专利信息
申请号: 201821788014.4 申请日: 2018-11-01
公开(公告)号: CN209097769U 公开(公告)日: 2019-07-12
发明(设计)人: 万喜增;严云;黄笑容;郑六奎 申请(专利权)人: 浙江中晶新材料研究有限公司
主分类号: B65G59/06 分类号: B65G59/06;B65G43/08
代理公司: 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 代理人: 韩燕燕
地址: 313100 浙江省*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 硅片 分片机构 提升机构 上料 传输机构 自定心机构 定位系统 安装架 自定心 堆叠 传送 本实用新型 堆叠放置 工作效率 硅片承载 向上移动 堆叠区 连续式 片盒 传输 移动
【权利要求书】:

1.一种硅片自分片传送定位系统,包括安装架(1),其特征在于,还包括:

上料提升机构(2),所述上料提升机构(2)设置于所述安装架(1)上,该上料提升机构(2)用于带动内部堆叠放置有若干硅片(10)的片盒(28)向上移动;

分片机构(3),所述分片机构(3)设置于所述上料提升机构(2)的后侧;

传输机构(4),所述传输机构(4)设置于所述分片机构(3)的后方,位于片盒(28)最上方的硅片(10)经分片机构(3)通过接触摩擦传动方式将其自动传送至传输机构(4)上;以及

自定心机构(5),所述自定心机构(5)设置于所述传输机构(4)一端的上方,硅片(10)由传输机构(4)以滚动传送方式将其转移至自定心机构(5)处实现该硅片(10)的自定心调整、定位。

2.根据权利要求1所述的一种硅片自分片传送定位系统,其特征在于,所述上料提升机构(2)包括固定安装于设备机架上的硅片升降模组(23)及滑动设置于所述硅片升降模组(23)上的上料支架(25),所述片盒(28)安装于所述上料支架(25)上,所述片盒(28)下方设置有光敏传感器(271),所述光敏传感器(271)的上方设置有硅片堆叠区(21)。

3.根据权利要求2所述的一种硅片自分片传送定位系统,其特征在于,所述上料支架(25)于所述分片机构(3)进行所述硅片(10)的分片过程中实现同步向上提升。

4.根据权利要求2所述的一种硅片自分片传送定位系统,其特征在于,所述分片机构(3)的一端位于所述硅片堆叠区(21)内,且位于所述硅片堆叠区(21)顶端的硅片(10)始终与所述分片机构(3)的一端接触设置。

5.根据权利要求2所述的一种硅片自分片传送定位系统,其特征在于,所述分片机构(3)的一端位于所述片盒(28)内的上方,该分片机构(3)包括:

分片驱动组件(31),所述分片驱动组件(31)设置于所述硅片堆叠区(21)的上方;

分片传输组件(32),所述分片传输组件(32)设置于所述硅片堆叠区(21)的上方,且该分片传输组件(32)的一端位于所述片盒(28)内,该分片传输组件(32)上设置有若干转动设置的硅胶管(37),若干硅胶管(37)与位于片盒(28)顶端的硅片(10)相切接触设置;

接近开关(39),所述接近开关(39)安装于所述分片传输组件(32)上,且该接近开关(39)位于所述硅片堆叠区(21)的上方,该接近开关(39)用于控制分片驱动组件(31)的转动和停止。

6.根据权利要求3所述的一种硅片自分片传送定位系统,其特征在于,所述传输机构(4)设置于所述分片机构(3)的后侧,且该传输机构(4)的一端位于所述分片机构(3)一侧的下方,该传输机构(4)包括:

传输驱动组件(41);

若干传输硅胶管(46),若干传输硅胶管(46)由传输驱动组件(41)驱动下进行转动,将由分片传输组件(32)单片分片的硅片(10)进行继续向后传输,该传输硅胶管(46)与硅胶管(37)之间形成硅片传输通道(461);

传输接近传感器(48),所述传输接近传感器(48)位于若干传输硅胶管(46)传输方向的一端上,该传输接近传感器(48)控制传输驱动组件(41)的转动和停止,且该传输接近传感器(48)控制自定心机构(5)进行硅片(10)的定心;

所述传输机构(4)靠近所述上料提升机构(2)的一端上还固定设置有挡板(49),该挡板(49)与所述片盒(28)一端接触设置,位于片盒(28)内的堆叠设置的硅片(10)与挡板(49)抵触设置。

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