[实用新型]大型容器氢氦质谱检漏系统

权利要求书

1.一种大型容器氢氦质谱检漏系统，其特征在于：包括固定放置地面上具有真空泵组的抽注机构，所述抽注机构一侧集成设置有具有电箱和控制器的电控柜，所述抽注机构的外部设置有可移动的、具有散热风扇的冷水机和检漏装置，所述抽注机构上具有氢气供入单元、氦罩供气单元、抽真空单元和喷氦供气单元；所述检漏装置内具有氢质谱检漏仪、氦质谱检漏仪，所述氢质谱检漏仪的检漏端经管道依次经过串联的第四电磁阀、第一止回阀与吸枪相连，所述氦质谱检漏仪的检漏端经管道依次经过串联的第五电磁阀、第二止回阀与吸枪相连。

2.根据权利要求1所述的大型容器氢氦质谱检漏系统，其特征在于：所述抽注机构包括底部具有脚杯的底座，所述底座上设置有放置真空泵组的支架和电控柜，所述底座上方固定设置有包裹真空泵组的立体支架，所述立体支架的侧面设有可打开/关闭的开关门A，所述立体支架的上端面设置有封盖板，所述封盖板上设有散热风扇。

3.根据权利要求2所述的大型容器氢氦质谱检漏系统，其特征在于：所述氢气供入单元包括设置在底座上的正压氢检接口和固定在立体支架上的氢气瓶，所述正压氢检接口与氢气瓶之间设置有第一管道，所述第一管道上设置有与控制器相连的第一电磁阀、第一调压阀、第一压力传感器。

4.根据权利要求2所述的大型容器氢氦质谱检漏系统，其特征在于：所述氦罩供气单元包括设置在底座上的氦罩接口和固定在立体支架上的氦气瓶，所述氦罩接口与氦气瓶之间设置有第二管道，所述第二管道上设置有与控制器相连的第二电磁阀、第二调压阀、第二压力传感器。

5.根据权利要求2所述的大型容器氢氦质谱检漏系统，其特征在于：所述喷氦供气单元包括设置在底座上的喷氦接口和固定在立体支架上的氦气瓶，所述喷氦接口与氦气瓶之间设置有第三管道，所述第三管道上设置有与控制器相连的第三电磁阀、第三调压阀、第三压力传感器。

6.根据权利要求2所述的大型容器氢氦质谱检漏系统，其特征在于：所述抽真空单元包括设置在底座上的容器主抽接口，所述容器主抽接口与主真空管的一端相连，所述主真空管上设置有真空阀组，所述真空阀组的出口与真空泵组相连。

7.根据权利要求6所述的大型容器氢氦质谱检漏系统，其特征在于：所述真空泵组包括一个旋片泵、一个罗茨泵和一个油旋片泵，所述支架为上下双层支架，所述旋片泵、罗茨泵并排放置在上层支架上，所述油旋片泵放置在下层支架上，所述封盖板上设置有与油旋片泵相连的油雾过滤器。

8.根据权利要求7所述的大型容器氢氦质谱检漏系统，其特征在于：所述真空阀组包括第一真空阀、第二真空阀、第三真空阀；所述第一真空阀设置在所述主真空管的另一端，其出口与旋片泵通过真空管连接；所述主真空管上设置有第一分支管道，所述第一分支管道的另一端设置有第二真空阀，所述第二真空阀的出口与所述罗茨泵通过真空管连接，所述罗茨泵与其下方的油旋片泵通过真空管连接；所述主真空管上还设置有第二分支管道，所述第二分支管道上设置有具有消音器的第三真空阀。