[实用新型]一种石英扩散炉用保温桶有效
申请号: | 201821680671.7 | 申请日: | 2018-10-17 |
公开(公告)号: | CN209232728U | 公开(公告)日: | 2019-08-09 |
发明(设计)人: | 张忠恕 | 申请(专利权)人: | 北京凯德石英股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/223 | 分类号: | H01L21/223;H01L31/18 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 100000 北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 挡板 石英 保温桶 定位钉 扩散炉 连接棒 本实用新型 多层挡板 反应效果 高度一致 隔热效果 焊接定位 焊接固定 结构稳定 焊接 保证 | ||
本实用新型涉及一种石英扩散炉用保温桶,包括顶板及位于顶板下方的多层挡板,所述顶板和挡板以及挡板之间均通过连接棒焊接定位,且所述顶板和挡板以及挡板之间均通过定位钉来控制焊接高度;所述定位钉为石英钉。顶板与挡板之间高度一致,且连接棒与挡板和顶板焊接固定,结构稳定,隔热效果好,有效保证反应效果。
技术领域
本实用新型涉及石英加工装置领域,具体是一种石英扩散炉用保温桶。
背景技术
在晶体硅太阳能电池制造过程中,硅片扩散工艺是将硅片放入高温扩散炉中,通以氮气、氧气和三氯氧磷等气体,在高温下发生化学反应并扩散后在硅片表面形成PN结。具体地说,先将硅片插在石英舟上,然后将石英舟放入高温扩散炉(一般就是扩散石英管)中,通入含有扩散源的气体,在高温条件下扩散源与硅片发生反应,实现扩散过程从而形成PN结。石英管内的保温桶,主要作用是为了隔热,但现有保温桶隔热效果不佳,影响了反应效果。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是提供一种石英扩散炉用保温桶,以解决现有技术中存在的缺陷。
本实用新型解决上述技术问题的技术方案如下:
一种石英扩散炉用保温桶,包括顶板1及位于顶板1下方的多层挡板4,所述顶板1和挡板4以及挡板4之间均通过连接棒3焊接定位,且所述顶板1和挡板4以及挡板4之间均通过定位钉来控制焊接高度;所述定位钉为石英钉2。
本实用新型的有益效果是:顶板与挡板之间高度一致,且连接棒与挡板和顶板焊接固定,结构稳定,隔热效果好,有效保证反应效果。
附图说明
图1为本实用新型剖视结构示意图;
图2为本实用新型俯视结构示意图;
附图标记说明如下:
1、顶板,2、石英钉,3、连接棒,4、挡板;
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型的原理和特征进行描述,所举实例只用于解释本实用新型,并非用于限定本实用新型的范围。
如图1所示,一种石英扩散炉用保温桶,包括顶板1及位于顶板1下方的多层挡板4,所述顶板1和挡板4以及挡板4之间均通过连接棒3焊接定位,且所述顶板1和挡板4以及挡板4之间均通过定位钉来控制焊接高度;所述定位钉为石英钉2。
一种石英扩散炉用保温桶的加工工艺,具体包括如下步骤:
1)根据配件图要求下料,如用多刀具切割,预留2mm平磨磨削量;连接棒预留组装焊接后的精确加工量;
2)对配件进行平面磨床或立磨;
3)根据配件图尺寸要求切割;
4)充分退火;
5)根据配件图尺寸要求,平面磨床磨削挡片厚度,平面度<0.05,注意顶板预留热加工退火后变形磨削量,尖角倒钝;
6)根据配件图要求检验配件全尺寸及外观;
7)根据图纸要求粘钉,使用1:1图定位尺寸。要求接口烤透,焊条处烧开,大火退除内应力;
8)充分退火;
9)根据配件图要求检验配件全尺寸及外观;
10)根据配件图尺寸要求磨削顶板,预留组装焊接后的精确磨削量。尖角倒钝;
11)根据配件图要求检验配件全尺寸及外观;
12)火抛所有配件,注意控制特殊材料火焰强度和烘烤时间,避免抛光表面不均匀;
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造