[实用新型]一种石英扩散炉用保温桶有效

专利信息
申请号: 201821680671.7 申请日: 2018-10-17
公开(公告)号: CN209232728U 公开(公告)日: 2019-08-09
发明(设计)人: 张忠恕 申请(专利权)人: 北京凯德石英股份有限公司
主分类号: H01L21/223 分类号: H01L21/223;H01L31/18
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 100000 北京市*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 挡板 石英 保温桶 定位钉 扩散炉 连接棒 本实用新型 多层挡板 反应效果 高度一致 隔热效果 焊接定位 焊接固定 结构稳定 焊接 保证
【说明书】:

实用新型涉及一种石英扩散炉用保温桶,包括顶板及位于顶板下方的多层挡板,所述顶板和挡板以及挡板之间均通过连接棒焊接定位,且所述顶板和挡板以及挡板之间均通过定位钉来控制焊接高度;所述定位钉为石英钉。顶板与挡板之间高度一致,且连接棒与挡板和顶板焊接固定,结构稳定,隔热效果好,有效保证反应效果。

技术领域

本实用新型涉及石英加工装置领域,具体是一种石英扩散炉用保温桶。

背景技术

在晶体硅太阳能电池制造过程中,硅片扩散工艺是将硅片放入高温扩散炉中,通以氮气、氧气和三氯氧磷等气体,在高温下发生化学反应并扩散后在硅片表面形成PN结。具体地说,先将硅片插在石英舟上,然后将石英舟放入高温扩散炉(一般就是扩散石英管)中,通入含有扩散源的气体,在高温条件下扩散源与硅片发生反应,实现扩散过程从而形成PN结。石英管内的保温桶,主要作用是为了隔热,但现有保温桶隔热效果不佳,影响了反应效果。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种石英扩散炉用保温桶,以解决现有技术中存在的缺陷。

本实用新型解决上述技术问题的技术方案如下:

一种石英扩散炉用保温桶,包括顶板1及位于顶板1下方的多层挡板4,所述顶板1和挡板4以及挡板4之间均通过连接棒3焊接定位,且所述顶板1和挡板4以及挡板4之间均通过定位钉来控制焊接高度;所述定位钉为石英钉2。

本实用新型的有益效果是:顶板与挡板之间高度一致,且连接棒与挡板和顶板焊接固定,结构稳定,隔热效果好,有效保证反应效果。

附图说明

图1为本实用新型剖视结构示意图;

图2为本实用新型俯视结构示意图;

附图标记说明如下:

1、顶板,2、石英钉,3、连接棒,4、挡板;

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的原理和特征进行描述,所举实例只用于解释本实用新型,并非用于限定本实用新型的范围。

如图1所示,一种石英扩散炉用保温桶,包括顶板1及位于顶板1下方的多层挡板4,所述顶板1和挡板4以及挡板4之间均通过连接棒3焊接定位,且所述顶板1和挡板4以及挡板4之间均通过定位钉来控制焊接高度;所述定位钉为石英钉2。

一种石英扩散炉用保温桶的加工工艺,具体包括如下步骤:

1)根据配件图要求下料,如用多刀具切割,预留2mm平磨磨削量;连接棒预留组装焊接后的精确加工量;

2)对配件进行平面磨床或立磨;

3)根据配件图尺寸要求切割;

4)充分退火;

5)根据配件图尺寸要求,平面磨床磨削挡片厚度,平面度<0.05,注意顶板预留热加工退火后变形磨削量,尖角倒钝;

6)根据配件图要求检验配件全尺寸及外观;

7)根据图纸要求粘钉,使用1:1图定位尺寸。要求接口烤透,焊条处烧开,大火退除内应力;

8)充分退火;

9)根据配件图要求检验配件全尺寸及外观;

10)根据配件图尺寸要求磨削顶板,预留组装焊接后的精确磨削量。尖角倒钝;

11)根据配件图要求检验配件全尺寸及外观;

12)火抛所有配件,注意控制特殊材料火焰强度和烘烤时间,避免抛光表面不均匀;

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