[实用新型]气体检测工装堵头

说明书

本实用新型实施例涉及检测技术领域，公开了一种气体检测工装堵头，包括螺母、螺栓；螺母开设有阶梯孔，阶梯孔包括相互连通的孔径较小孔和孔径较大孔；螺母包括围成孔径较大孔的第一孔壁、围成孔径较小孔的第二孔壁、连接第一孔壁与第二孔壁的台阶面、与第一孔壁和第二孔壁间隔设置的外侧壁；螺栓包括杆部和沿杆部的径向方向延伸、并与杆部一体形成的凸缘；杆部包括延伸至孔径较大孔内、并与第一孔壁经由螺纹固定连接的连接端，且杆部为实心机构；凸缘设于杆部远离连接端的末端。本实用新型实施例提供的气体检测工装堵头能简化组装工序、提高组装效率，降低了配合节点过多导致的检验误差，不易漏气而避免导致氦检误判。

技术领域

本实用新型实施例涉及检测技术领域，特别涉及一种气体检测工装堵头。

背景技术

在半导体制备工艺中，冷却夹套在使用前需要检测是否漏气，现有技术中通常采用气体检测方法检测冷却夹套的密封性能，具体的，在检测时需要在冷却夹套的接口处安装连接件，并利用连接件将冷却夹套与检测仪连接起来。例如，采用氦检法检测冷却夹套的密封性能时，利用的工装连接件为两个轴向上开设有通孔的螺杆；在冷却夹套的进水口处，利用一个螺杆作为进水口的堵头，该螺杆的一端通过圆螺母连接进水管、另一端通过圆螺母连接量棒；在冷却夹套的出水口处，利用另一个螺杆作为出水口和氦检装置的接头，该螺杆的一端通过圆螺母连接出水管，另一端通过圆螺母连接氦检装置的丁字形管道；使用时连通氦检仪的波纹管连通丁字形管道的外径较大的一端。

本实用新型的发明人发现，现有技术中存在如下问题：作为堵头的气体检测工装连接件需要通过一个圆螺母将螺杆与金属量棒连接，螺杆的另一端又需要通过一个螺母与进水管连接，多个螺母的组装工序繁复，导致组装效率低下；并且，螺杆与其他结构之间的配合节点过多，检验误差较大，且容易漏气，导致氦检误判。

实用新型内容

本实用新型实施方式的目的在于提供气体检测工装堵头，其能简化组装工序、提高组装效率，降低了配合节点过多导致的检验误差，不易漏气而避免导致氦检误判。

为解决上述技术问题，本实用新型的实施方式提供了一种气体检测工装堵头，包括螺母及螺栓；所述螺母开设有阶梯孔，所述阶梯孔包括相互连通的孔径较小孔和孔径较大孔；所述螺母包括围成所述孔径较大孔的第一孔壁、围成所述孔径较小孔的第二孔壁、连接所述第一孔壁与所述第二孔壁的台阶面、与所述第一孔壁和所述第二孔壁间隔设置的外侧壁；所述螺栓包括杆部和沿所述杆部的径向方向延伸、并与所述杆部一体形成的凸缘；所述杆部包括延伸至所述孔径较大孔内、并与所述第一孔壁经由螺纹固定连接的连接端，且所述杆部为实心机构；所述凸缘设于所述杆部远离所述连接端的末端。

本实用新型实施方式相对于现有技术而言，螺栓包括与杆部一体形成的凸缘，一体式的结构设计，便于治具卡持，无需用金属管封堵，无需额外利用螺母连接螺杆，精简了工装堵头的结构，减少了螺母的用量，简化了组装工序，从而提高了组装效率，同时减少了堵头与其他结构之间的配合节点，从而降低了检验误差，不易漏气而避免导致氦检误判。杆部为实心机构进一步减少了漏气的几率、增加了工装的可靠性。

另外，还包括：设置在所述孔径较大孔内并抵接所述连接端的密封圈。阶梯孔内容置有密封圈，冷却夹套进水口的金属管可以通过孔径较小孔进入螺母的阶梯孔、并抵持在螺栓的连接端上，使密封圈套设在金属管外壁，从而增强连接处的密封性，减少漏气的几率，进而减少误判几率；密封圈设置在所述孔径较大孔中，能防止密封圈脱离螺母、导致漏气，保证工装的可靠性。

另外，还包括：设置在所述孔径较大孔内的挡圈，所述挡圈一侧抵持所述密封圈，另一侧抵持所述台阶面。如此设置可以防止密封圈夹持在螺栓与螺母之间，防止组装时密封圈受螺栓和螺母挤压而被损坏、导致产生氦检误判的情况发生；同时，还可以避免螺母的台阶面与连接端之间的距离过长，导致密封圈未被抵接在杆部上，密封圈与连接端之间存在漏点，导致氦检误判。