[实用新型]一种粘稠性药水防堵塞装置

说明书

本实用新型公开了一种粘稠性药水防堵塞装置，它包括药液槽，药液槽外连接一条内循环管路，内循环管路的两端连接药液槽的进料口和出料口，药液槽内混合有粘稠性药水，内循环管路上设置有循环泵，循环泵的进液端连接手动阀门，循环泵的出液端依次连接内循环气动阀门、过滤器和止回阀，循环泵的出液端外并联一外循环管路，外循环管路连接至药液槽的进料口，外循环管路上安装有外循环气动阀门。通过新增控制功能和修改管路设计，粘稠药水先经外循环管路，打稀薄后进入药液槽，再进内循环管路，不会堵塞过滤器，增加其寿命，减小了维护次数，使乙二醇与缓冲氧化物刻蚀液氟化铵更充分混合，有利于提高圆片的质量。

技术领域

本实用新型涉及一种防堵塞装置，尤其涉及一种粘稠性药水防堵塞装置。

背景技术

现有的乙二醇与缓冲氧化物刻蚀液氟化铵混合后过于粘稠，药液槽外连接一条管路，管路上连接泵和过滤器，通过过滤器过滤药液，药液过于粘稠，容易堵住过滤器,这样就需要定期清理过滤器，影响过滤器寿命，增大了安全隐患，定期更换过滤器也增大了设备维护成本。

在解决过滤器堵塞问题时，曾尝试使用过以下方法：减小流量流速，影响工艺时间，依然不能很好的解决过滤器堵塞问题；更改管路设计，就需要选择流量更大的定量泵和密度更大的过滤器，增加了设备成本。

发明内容

为解决上述过滤器堵塞影响圆片工艺技术问题，本实用新型提供一种粘稠性药水防堵塞装置，解决维护保养风险问题, 降低使用成本。

本实用新型采用的技术方案：

一种粘稠性药水防堵塞装置，它包括药液槽，所述药液槽外连接一条内循环管路，所述内循环管路的两端连接药液槽的进料口和出料口，所述药液槽内混合有粘稠性药水，所述内循环管路上设置有循环泵，所述循环泵的进液端连接手动阀门，所述循环泵的出液端依次连接内循环气动阀门、过滤器和止回阀，所述循环泵的出液端外并联一外循环管路，外循环管路连接至药液槽的进料口，所述外循环管路上安装有外循环气动阀门。

进一步的，所述药液槽内设置有温度传感器。

进一步的，该防堵塞装置具有控制面板，控制面板上安装有控制卡板、温度控制器和时间计数器。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果：通过新增控制功能和修改管路设计，粘稠药水先经外循环管路，打稀薄后进入药液槽，再进内循环管路，不会堵塞过滤器，增加其寿命，减小了维护次数，使乙二醇与缓冲氧化物刻蚀液氟化铵更充分混合，有利于提高圆片的质量。

附图说明

图1是本实用新型的原理图。

1、温度控制器，2、时间计数器，3、控制面板，4、控制卡板，5、温度传感器，6、药液槽，61、进料口，62、出料口，7、手动阀门，8、循环泵，9、内循环气动阀门，10、过滤器，11、止回阀，12、外循环气动阀门；

110、内循环管路，111、外循环管路。

具体实施方式

为了加深对本实用新型的理解，下面结合附图及具体实施方式进行详细描述，本说明书中描述的实施例仅用于解释本实用新型，并非用来限定本实用新型。

图1所示，本实用新型的一种粘稠性药水防堵塞装置，它包括药液槽6，药液槽6外连接一条内循环管路110，内循环管路110的两端连接药液槽6的进料口61和出料口62，药液槽6内混合有粘稠性药水，内循环管路110上设置有循环泵8，循环泵8的进液端连接手动阀门7，循环泵8的出液端依次连接内循环气动阀门9、过滤器10和止回阀11，循环泵8的出液端外并联一外循环管路111，外循环管路111连接至药液槽6的进料口61，外循环管路111上安装有外循环气动阀门12。药液槽6内设置有温度控制器5，便于检测温度。