[实用新型]一种在线监测装置

说明书

本实用新型提供了一种在线监测装置，所述在线监测装置，包括电镀单元、溶解单元以及连接于电镀单元和溶解单元之间的第一输送器件，所述在线监测装置还包括分析池和控制器，所述分析池与电镀单元连接，所述控制器一端与分析池相连，另一端与第一输送器件连接。

技术领域

本实用新型涉及电镀领域，涉及一种在线监测装置，尤其涉及一种在线监控金属离子浓度的在线监测装置。

背景技术

在电镀铜药水过程中通常使用光度法利用三价铁离子对302nm波长的光线的吸收，将三价铁离子浓度转化为电信号，再通过微电脑控制相应的机电装置，实现对三价铁离子浓度的在线控制；此方法只能监测三价铁离子，要检测其它离子则必需再增加一层其它波长的检测品，而且光学方法存在干扰因素多的缺点，从而限制了其应用。

CN102081408A公开了一种离子浓度监控系统，所述系统包括镀膜腔、向镀膜腔提供混合气体的气体供应装置、电离真空管、光纤及气体流量控制器；该镀膜腔内的混合气体被放电激发为不同的离子；该电离真空管的一端与镀膜腔连通，另一端通过光纤与气体流量控制器相连；该电离真空管激发混合气体产生发射光谱，该光谱通过光纤传输至气体流量控制器；该气体流量控制器包括用于设定镀膜腔内不同离子的浓度比例值的预设模块、用于分析发射光谱以获取镀膜腔内离子的实际浓度比例值的光谱分析模块及用于比较所设定的离子浓度比例值与实际离子浓度比例值的比较控制模块；所述比较控制模块根据比较结果控制气体供应装置的供气流量以将镀膜腔内的离子浓度比例维持为设定值；该发明用于检测的靶材物质污染光纤的离子浓度，未提及可以用于检测电镀单元中金属离子的浓度。

CN204203159U公开了一种带有预镀膜功能的在线重金属监测仪，包括微量注射泵、分析池、蒸馏水瓶、测试底液瓶、水样瓶、标准溶液瓶、脱膜液瓶、镀膜液瓶、两个蠕动泵、镀膜液回收桶、两个废液桶和十个两位三通电磁阀；该实用新型所述的在线重金属监测仪主要用于监测水中的重金属离子，未提及可以用于实时监测电镀液中的重金属离子的浓度。

因此，开发一种可在线监控电镀单元中金属离子的装置非常有必要。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种在线监测装置，所述线监测装置可用于实时监测电镀液中金属离子的浓度，从而调节电镀液中的金属离子浓度，对电镀效果产生积极的作用。

为达到此目的，本实用新型采用以下技术方案：

本实用新型的目的之一在于提供一种在线监测装置，包括电镀单元、溶解单元以及连接于电镀单元和溶解单元之间的第一输送器件，所述在线监测装置还包括分析池和控制器，所述分析池与电镀单元连接，所述控制器一端与分析池相连，另一端与第一输送器件连接。

本实用新型提供一种在线监测装置，该在线监控装置包括分析池、控制器和第一输送器件，分析池可将化学信号转换为电信号，控制器可根据标准曲线读出电信号所对应的金属离子的浓度，通过控制第一输送器件进而调节电镀单元中金属离子的浓度，从而有效的控制电镀效果。

在本实用新型中，所述分析池为用于输送液体的腔体，所述腔体内插有电极。

在本实用新型中，所述电极包括工作电极、参比电极和对电极。

本实用新型中，电极可包括工作电极、参比电极和对电极，电极也可为工作电极、参比电极和对电极做成一个整体，形成一个复合电极。

在本实用新型中，所述工作电极为铂电极。

本实用新型中工作电极在测量间隔需进行电化学清洗，电化学清洗是在工作电极上添加一个1-2V的电位，从而氧化工作电极上吸附的难降解物质。

在本实用新型中，所述电位是指工作电极相对于参比电极的电位。

在本实用新型中，所述参比电极为银氯化银参比电极或饱和甘汞参比电极。