[实用新型]一种晶圆的定位装置

权利要求书

1.一种晶圆的定位装置，包括承载晶圆的调整台、反射式光电传感器、信号处理单元和控制单元，其特征在于：所述的反射式光电传感器包括红外线发射端、反射装置以及红外线接收端，所述红外线发射端和反射装置分置于晶圆两侧，红外线发射端发射出的红外线垂直于晶圆，反射装置可将透射晶圆的红外线反射到红外线接收端，所述红外线接收端同信号处理单元输入端连接，信号处理单元内设置放大电路，信号处理单元的输出端连接控制单元。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆的定位装置，其特征在于：所述晶圆为包括主平边和副平边的双平边半透明晶圆。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆的定位装置，其特征在于：所述调整台包括水平调整机构和中心机构，水平调整机构为空心结构，其内设置中心机构，中心机构上端设有第一固定结构，水平调整机构可进行水平方位上的移动，中心机构可进行绕轴自转和垂直方向上的上升下降运动。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆的定位装置，其特征在于：所述第一固定结构为吸盘。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆的定位装置，其特征在于：所述晶圆的定位装置还包括驱动单元，所述驱动单元可根据控制单元的指令，驱动水平调整机构和中心机构运动。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆的定位装置，其特征在于：所述红外线发射端发射的红外线波长为660nm。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆的定位装置，其特征在于：所述的红外线接收端包括长度为28mm的红外线光电单元列阵。

8.根据权利要求1所述的一种晶圆的定位装置，其特征在于：所述的反射装置为反射棱镜，所述反射棱镜的反射面为倾斜45°设置。

9.根据权利要求1所述的一种晶圆的定位装置，其特征在于：所述的放大电路可将电压信号范围扩大为-5—5V。

10.根据权利要求1所述的一种晶圆的定位装置，其特征在于：所述的定位装置上还设置有第二固定结构，所述第二固定结构可在晶圆与第一固定装置脱离时，将晶圆固定于当前位置上。

11.根据权利要求1所述的一种晶圆的定位装置，其特征在于：所述控制单元包括信号分析器，所述信号分析器可过滤掉晶圆副平边的信号，得到晶圆主平边位置。