[实用新型]晶体硅太阳能电池扩散石英舟

说明书

本实用新型公开了晶体硅太阳能电池扩散石英舟，包括：一对面板；一对上端连接杆，所述一对上端连接杆平行设置；一对底端连接杆；多个第一卡槽，所述多个第一卡槽间隔设置在所述一对上端连接杆上；多个第二卡槽，所述多个第二卡槽间隔设置在所述一对底端连接杆上；其中，位于两侧的第一卡槽与所述一对面板的距离不小于所述第一卡槽宽度的5倍，位于两侧的第二卡槽与所述一对面板的距离不小于所述第二卡槽宽度的5倍，所述多个第一卡槽的对称面与所述一对面板的夹角为3°，所述多个第二卡槽的对称面与所述一对面板的夹角也为3°。本实用新型避免使用挡片，降低了生成成本，并且利用M形底部和管套结构减轻了石英舟的重量，并且使得搬运石英舟更加方便。

技术领域

本实用新型涉及晶体硅太阳能电池生产领域。更具体地说，本实用新型涉及一种用于晶体硅太阳能电池扩散工艺的石英舟。

背景技术

在晶体硅太阳能电池扩散工艺中普遍使用磷扩散的方法制作PN结，而磷元素的来源一般使用液态的POCl₃进行扩散。现有的石英舟为了改善各硅片扩散后方阻均匀性较差的问题，普遍采用在扩散前，将准备生产的硅片均匀放置在石英舟的中间部分，其余两端放置挡片，以减小各硅片气流环境的差异。由于生产中对挡片的洁净度以及完整性要求较高，因而硅片的使用也较大幅度地增加了生产成本。另外，现有的石英舟浪费材料，重量大，也不利于搬运。因此，亟需设计一种能够改善上述缺陷的石英舟。

实用新型内容

本实用新型的一个目的是提供一种晶体硅太阳能电池扩散石英舟，其避免使用挡片，降低了生成成本，并且利用M形底部和管套结构减轻了石英舟的重量，并且使得搬运石英舟更加方便。

为了实现根据本实用新型的这些目的和其它优点，提供了晶体硅太阳能电池扩散石英舟，其特征在于，包括：

一对面板，所述一对面板平行相对设置；

一对上端连接杆，所述一对上端连接杆平行设置，所述一对上端连接杆的两端分别与所述一对面板相对的表面垂直连接；

一对底端连接杆，所述一对底端连接杆平行设置，所述一对底端连接杆的两端分别与所述一对面板相对的表面垂直连接，所述一对底端连接杆所在的平面与所述一对上端连接杆所在的平面平行，并且位于所述一对上端连接杆所在的平面下方；

多个第一卡槽，所述多个第一卡槽间隔设置在所述一对上端连接杆上；

多个第二卡槽，所述多个第二卡槽间隔设置在所述一对底端连接杆上，并且与所述多个第一卡槽上下对应；

其中，位于两侧的第一卡槽与所述一对面板的距离不小于所述第一卡槽宽度的5倍，位于两侧的第二卡槽与所述一对面板的距离不小于所述第二卡槽宽度的5倍，所述多个第一卡槽的对称面与所述一对面板的夹角为3°，所述多个第二卡槽的对称面与所述一对面板的夹角也为3°。

优选的是，所述的晶体硅太阳能电池扩散石英舟，所述多个第一卡槽的截面形状由位于外侧的第一梯形和位于内侧的第一矩形拼接而成，所述第一梯形为等腰梯形，所述第一梯形两腰的夹角为60°；所述多个第二卡槽的截面形状由位于外侧的第二梯形和位于内侧的第二矩形拼接而成，所述第二梯形为等腰梯形，所述第二梯形两腰的夹角为90°，所述第二梯形的高大于所述第一梯形的高，所述第一矩形的宽度比所述第二矩形的宽度大0.3毫米。

优选的是，所述的晶体硅太阳能电池扩散石英舟，位于两侧的第一卡槽与所述一对面板的距离不低于所述第一矩形宽度的5倍，位于两侧的第二卡槽与所述一对面板的距离不低于所述第二矩形宽度的5倍。

优选的是，所述的晶体硅太阳能电池扩散石英舟，所述一对面板的下端截面呈M状结构，所述一对面板下端包括位于两侧的舟脚和位于中间的凸出部，所述凸出部呈上大下小的第三梯形，所述第三梯形为等腰梯形，所述第三梯形两腰夹角为90°，所述等腰梯形的下底尺寸与所述面板宽度的比例不小于1:3。