[实用新型]一种直拉单晶补掺合金装置

说明书

本实用新型提供一种直拉单晶补掺合金装置，包括粗晶部、细晶部和采用与拉晶方向相反提升形成的扩肩，粗晶部、细晶部与采用与拉晶方向相反提升形成的扩肩依次连接，扩肩的肩部设有补掺合金，采用与拉晶方向相反形成的扩肩的肩部与竖直方向的夹角小于90°。本实用新型的有益效果是使得在直拉单晶过程中补掺合金更加方便，采用与拉晶方向相反的方向进行提升扩肩，使得扩肩上部具有一定斜度，掺杂的合金不易脱落。

技术领域

本实用新型属于单晶生产技术领域，尤其是涉及一种直拉单晶补掺合金的工艺方法。

背景技术

单晶生长过程包括，拆清、熔料、稳温、引晶、扩肩、转肩、等径、收尾、停炉工步。在单晶拉制过程中，为了调节单晶出炉电阻率，需要进行补掺合金。目前补掺合金需要进行扩肩，然后将合金放到肩部，但是合金在肩部提升旋转等过程中易脱落。

实用新型内容

鉴于上述问题，本实用新型要解决的问题是提供一种直拉单晶补掺合金装置，尤其适合直拉单晶补掺合金使用，防止合金脱落，提高单晶出炉电阻的准确性。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：一种直拉单晶补掺合金装置，包括粗晶部、细晶部和采用与拉晶方向相反提升形成的扩肩，粗晶部、细晶部与采用与拉晶方向相反提升形成的扩肩依次连接，扩肩的肩部设有补掺合金，采用与拉晶方向相反形成的扩肩的肩部与竖直方向的夹角小于90°。

进一步的，采用与拉晶方向相反形成的扩肩肩部上表面与竖直向上方向的夹角小于90°。

进一步的，粗晶部、细晶部和采用与拉晶方向相反提升形成的扩肩一体成型。

本实用新型具有的优点和积极效果是：

1.由于采用上述技术方案，使得在直拉单晶过程中补掺合金更加方便，采用与拉晶方向相反的方向进行提升扩肩，使得扩肩上部具有一定斜度，掺杂的合金不易脱落；

2.采用该直拉单晶补掺合金的工艺方法，能够有效避免直拉单晶掺杂过程合金脱落，提高出炉单晶电阻率的一致性，提高单晶品质；

3.采用该直拉单晶补掺合金的工艺方法，有效的避免了合金脱落，单晶电阻率准确控制，能够降低重复掺杂的工时浪费，提高单晶品质，降低合金损耗，提高合格率降低成本。

附图说明

图1是现有技术的补掺合金结构示意图；

图2是本实用新型的一实施例的结构示意图。

图中：

1、粗晶部 2、肩部 3、合金

4、细晶部

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步的说明。

图1示出了现有的补掺合金的方式，采用现有的补掺合金的方法，扩肩后肩部2的上表面是倾斜的，肩部上表面与竖直向上方向的夹角大于90°，使得掺杂合金3在肩部2提升过程中容易脱落，使得单晶电阻率不能得到准确控制。

图2示出了本实用新型的一实施例，本实施例涉及一种直拉单晶补掺合金装置，图2具体示出了该实施例采用该直拉单晶补掺合金装置结构，使得扩肩后的肩部2的上表面是倾斜的，且肩部上表面与竖直向上方向的夹角小于90°，使得掺杂合金3在肩部提升过程中不易脱落，使得单晶电阻率得到准确控制。

该直拉单晶补掺合金的工艺方法，用于直拉单晶在拉晶过程中补掺合金中应用，采用该工艺方法在直拉单晶过程中进行补掺合金，保证单晶出炉电阻率的准确性，可以在熔料结束后应用，也可以在拉制一段单晶后应用，还可以是在任何需要改变炉内硅溶液电阻的情况下应用，根据实际需求进行选择补掺合金，这里不做具体要求。