[实用新型]半导体瞬态X射线非线性光学效应测试装置

权利要求书

1.一种半导体瞬态X射线非线性光学效应测试装置，其特征在于，包括：

X射线源(9)，其用于产生X射线，并照射到待测试的半导体材料片(4)上，使其产生非线性光学效应；

延时模块(1)，其用于引入一束探针光照射到所述半导体材料片(4)上，并在该半导体材料片(4)表面被反射，所述延时模块(1)能够对该探针光的传输光程进行调节；

分光片(3)，其用于对延时模块(1)引入的探针光进行分光；

光谱仪A(5)，其用于接收经半导体材料片(4)反射的探针光；

光谱仪B(8)，其用于接收经分光片(3)透射的探针光。

2.根据权利要求1所述的半导体瞬态X射线非线性光学效应测试装置，其特征在于：所述X射线和探针光照射至所述半导体材料片(4)相对的两侧表面上，其中在X射线入射的一侧表面上镀有高反膜。

3.根据权利要求1或2所述的半导体瞬态X射线非线性光学效应测试装置，其特征在于：所述延时模块(1)包括底座(10)，该底座(10)上具有沿其长度方向设置的滑轨(7)，该滑轨(7)上具有与其滑动配合的滑移平台(6)；

所述滑轨(7)的一端架设有第一反射镜(70)和第二反射镜(71)，所述滑移平台(6)上架设有第三反射镜(72)和第四反射镜(73)，所述第一反射镜(70)和第三反射镜(72)平行设置，第二反射镜(71)与第四反射镜(73)平行设置，所述探针光依次经第一反射镜(70)、第三反射镜(72)、第二反射镜(71)和第四反射镜(73)的反射后入射至分光片(3)上。

4.根据权利要求3所述的半导体瞬态X射线非线性光学效应测试装置，其特征在于：所述延时模块(1)与分光片(3)之间设有色散玻璃(2)。

5.根据权利要求1所述的半导体瞬态X射线非线性光学效应测试装置，其特征在于：所述X射线源(9)包括球形靶腔(90)，该球形靶腔(90)的中心处设有平面靶(91)，所述半导体材料片(4)位于球形靶腔(90)内，且正对平面靶(91)。