[实用新型]一种气密性检测装置

说明书

本实用新型实施例提供一种气密性检测装置，包括：至少两个气检夹具，所述气检夹具用于密封连通待检件；连通管道，所述连通管道密封连通所述气检夹具，所述连通管道、气检夹具及待检件之间形成密闭空间；抽真空装置，用于对所述密闭空间抽真空；气体检测装置，用于检测所述密闭空间内的气体。本实用新型实施例能够提高检漏效率。

技术领域

本实用新型涉及检测设备领域，并且更具体地，涉及一种气密性检测装置。

背景技术

真空蒸镀金属薄膜是在真空条件下，将金属蒸镀在薄膜基材的表面形成复合覆膜的一种工艺。目前在真空镀膜行业，需要对真空镀膜设备进行检漏，采用的检漏技术基本上是基于腔室在线抽真空氦检漏。现有的检漏方式一般采用对待检件逐个进行检漏，然而，每次检漏需要经过较长时间的抽真空，这使得现有的检漏技术存在检漏效率较低的问题。

实用新型内容

本实用新型实施例提供一种气密性检测装置，以解决现有的对待检件逐个进行检漏存在检漏效率较低的问题，提高检漏效率。

本实用新型实施例提供了一种气密性检测装置，包括：

至少两个气检夹具，所述气检夹具用于密封连通待检件；

连通管道，所述连通管道密封连通所述气检夹具，所述连通管道、气检夹具及待检件之间形成密闭空间；

抽真空装置，用于对所述密闭空间抽真空；

气体检测装置，用于检测所述密闭空间内的气体。

可选的，所述气检夹具包括管件及直角法兰，所述管件包括第一管口及第二管口，所述第一管口密封连通所述连通管道，所述第二管口经所述直角法兰与所述待检件密封连通。

可选的，所述气检夹具还包括气缸，所述气缸密封连通所述管件的第三管口，所述气缸包括活塞，所述活塞的端部设置有阻塞部，所述阻塞部用来阻断所述管件和所述直角法兰的连通，所述气密性检测装置还包括气缸控制阀组，所述气缸控制阀组控制所述活塞的运动。

可选的，所述气检夹具和/或所述连通管道上还设置有备用法兰。

可选的，所述抽真空装置包括机械泵、罗茨泵及分子泵。

可选的，所述机械泵密封连通所述罗茨泵，所述罗茨泵密封连通所述连通管道，所述分子泵密封连通所述连通管道。

可选的，所述气体检测装置为氦检仪。

可选的，所述连通管道包括多个管体，所述多个管体首尾围合形成所述连通管道，所述连通管道的一边与抽真空装置密封连通，所述连通管道的其余边各密封连通至少一个所述气检夹具。

可选的，所述气密性检测装置还包括真空计，所述真空计设置于所述连通管道或所述气检夹具上，所述真空计用于检测所述密闭空间内的真空度。

可选的，所述待检件为蒸发源。

本实用新型的有益效果是：本实用新型实施例提供的气密性检测装置，通过连通管道上密封连通至少两个所述气检夹具，能够实现同时检测多个待检件，以解决现有的检漏技术存在检漏效率较低的问题，提高检漏效率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型实施例提供的气密性检测装置的结构示意图之一；

图2是本实用新型实施例提供的气密性检测装置的结构示意图之二；

图3是本实用新型实施例提供的气检夹具的结构示意图；