[实用新型]一种气密性检测装置有效
| 申请号： | 201821121506.8 | 申请日： | 2018-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN208588507U | 公开（公告）日： | 2019-03-08 |
| 发明（设计）人： | 张长虹 | 申请（专利权）人： | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/02 | 分类号： | G01M3/02 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;黄灿 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 夹具 气检 连通管道 密闭空间 本实用新型 密封连通 密性检测 气体检测装置 抽真空装置 抽真空 检漏 检测 | ||
1.一种气密性检测装置，其特征在于，包括：
至少两个气检夹具，所述气检夹具用于密封连通待检件；
连通管道，所述连通管道密封连通所述气检夹具，所述连通管道、气检夹具及待检件之间形成密闭空间；
抽真空装置，用于对所述密闭空间抽真空；
气体检测装置，用于检测所述密闭空间内的气体。
2.如权利要求1所述的气密性检测装置，其特征在于，所述气检夹具包括管件及直角法兰，所述管件包括第一管口及第二管口，所述第一管口密封连通所述连通管道，所述第二管口经所述直角法兰与所述待检件密封连通。
3.如权利要求2所述的气密性检测装置，其特征在于，所述气检夹具还包括气缸，所述气缸密封连通所述管件的第三管口，所述气缸包括活塞，所述活塞的端部设置有阻塞部，所述阻塞部用来阻断所述管件和所述直角法兰的连通，所述气密性检测装置还包括气缸控制阀组，所述气缸控制阀组控制所述活塞的运动。
4.如权利要求1所述的气密性检测装置，其特征在于，所述气检夹具和/或所述连通管道上还设置有备用法兰。
5.如权利要求1所述的气密性检测装置，其特征在于，所述抽真空装置包括机械泵、罗茨泵及分子泵。
6.如权利要求5所述的气密性检测装置，其特征在于，所述机械泵密封连通所述罗茨泵，所述罗茨泵密封连通所述连通管道，所述分子泵密封连通所述连通管道。
7.如权利要求1所述的气密性检测装置，其特征在于，所述气体检测装置为氦检仪。
8.如权利要求1所述的气密性检测装置，其特征在于，所述连通管道包括多个管体，所述多个管体首尾围合形成所述连通管道，所述连通管道的一边与抽真空装置密封连通，所述连通管道的其余边各密封连通至少一个所述气检夹具。
9.如权利要求1所述的气密性检测装置，其特征在于，还包括真空计，所述真空计设置于所述连通管道或所述气检夹具上，所述真空计用于检测所述密闭空间内的真空度。
10.如权利要求1所述的气密性检测装置，其特征在于，所述待检件为蒸发源。
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