[实用新型]一种半导体制程废气中氟化物的净化装置

权利要求书

1.一种半导体制程废气中氟化物的净化装置，包括机架(1)，其特征在于：所述机架(1)的左端通过废气管连通有废气输出端(2)，所述机架(1)的顶端固定安装有火焰反应腔(3)，所述火焰反应腔(3)的内壁底端固定安装有空心管(4)，所述空心管(4)的顶部固定安装燃气反应装置(5)，所述燃气反应装置(5)包括燃气反应箱(52)，所述火焰反应腔(3)通过进气口连通有燃气输出端(51)，所述燃气反应箱(52)的外表面固定安装有火焰喷头(6)，所述燃气反应箱(52)的外表面相对的一侧固定安装有水反应腔(7)，所述燃气反应箱(52)与燃气输出端(51)连通有燃气输出管(8)，所述机架(1)的内壁底部通过螺栓固定安装有一号水泵(9)，所述一号水泵(9)与空心管(4)连通有一号水管(10)，所述机架(1)的内壁底部固定安装有水箱(11)，所述一号水泵(9)与水箱(11)连通有二号水管(12)，所述火焰反应腔(3)的内部底端固定焊接有打火装置(13)，所述打火装置(13)包括打火室(131)，所述打火室(131)的内部固定焊接用打火石(132)，所述打火石(132)的外表面滑动连接有摩擦石(133)，所述摩擦石(133)远离打火石(132)的一端活动连接有推杆(134)，所述推杆(134)的外表面相背的一侧固定安装有弹簧(135)，所述打火室(131)的内壁开设有漏气孔(136)，所述火焰反应腔(3)的右侧固定焊接有风机室(14)，所述风机室(14)的内部通过安装板固定安装有风机(15)，所述机架(1)的顶部固定焊接有水洗反应室(16)，所述风机(15)的出气管顶部固定安装有风喷头(17)，所述水洗反应室(16)的内壁右侧固定焊接有二氧化硅反应盒(18)，所述机架(1)的底部通过螺栓固定安装有二号水泵(19)，所述二号水泵(19)与水箱(11)连通有三号水管(20)，所述二号水泵(19)与水洗反应室(16)连通有四号水管(21)，所述水洗反应室(16)的内壁底端固定安装有轴承装置(22)，所述水洗反应室(16)的顶部通过安装板固定安装有电机(23)，所述轴承装置(22)的顶部活动连接有旋转管(24)，所述水洗反应室(16)内部设置有水槽(25)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体制程废气中氟化物的净化装置，其特征在于：所述二氧化硅反应盒(18)的内部放置有二氧化硅粉末(181)，所述二氧化硅反应盒(18)外表面右侧开设有孔洞(182)。

3.根据权利要求1所述的一种半导体制程废气中氟化物的净化装置，其特征在于：所述旋转管(24)的外表面开设有漏水孔(241)，所述旋转管(24)的顶部固定焊接有圆柱板(242)，所述圆柱板(242)远离旋转管(24)的一端与电机(23)的输出端活动连接。

4.根据权利要求1所述的一种半导体制程废气中氟化物的净化装置，其特征在于：所述轴承装置(22)包括外壳(221)，所述外壳(221)的内壁滑动连接有滚珠(222)，所述滚珠(222)与旋转管(24)的外表面滑动连接。

5.根据权利要求1所述的一种半导体制程废气中氟化物的净化装置，其特征在于：所述一号水管(10)的右侧连通有支管(101)，所述支管(101)依次贯穿机架(1)和水槽(25)并延伸至水槽(25)的内部。

6.根据权利要求1所述的一种半导体制程废气中氟化物的净化装置，其特征在于：所述风机(15)通过吸风管与火焰反应腔(3)连通，所述风机(15)的出风管贯穿水洗反应室(16)并延伸至水洗反应室(16)内部。