[实用新型]一种近场电磁波测量系统

权利要求书

1.一种近场电磁波测量系统，其特征在于包括：二维平面移动系统、上位机、矢量网络分析仪、升降台、水平调节装置、近场测量探头；

上位机与矢量网络分析仪相连，矢量网络分析仪的输入端通过射频连接线与近场测量探头相连，矢量网络分析仪的输出端通过射频连接线与样品相连，样品放置在水平调节装置上；水平调节装置固定在升降台上；升降台固定在二维平面坐标移动系统上；近场测量探头固定于样品上方空间；

所述的二维平面移动系统通过上位机控制带动升降台在X轴和Y轴方向移动，升降台用于调节水平调节装置的高度。

2.根据权利要求1所述的近场电磁波测量系统，其特征在于所述的近场电磁波测量系统还包括可拆卸式上板束波装置；二维平面移动系统、升降台和水平调节装置均设置在所述可拆卸式上板束波装置内；可拆卸式上板束波装置包括上板、框架；所述上板为金属板；所述样品位于上板和水平调节装置之间。

3.根据权利要求2所述的近场电磁波测量系统，其特征在于所述的上板中间区域开设有探测口，近场测量探头通过可拆卸式上板束波装置上的探测口后被夹持固定于样品上方空间；或者近场测量探头被夹持固定在探测口内，探头针头与上板下表面平行。

4.根据权利要求1所述的近场电磁波测量系统，其特征在于所述的近场电磁波测量系统还包括可拆卸式探头夹持装置；近场测量探头通过可拆卸式探头夹持装置夹持固定于样品上方空间，可拆卸式探头夹持装置为非金属材质。

5.根据权利要求4所述的近场电磁波测量系统，其特征在于所述的可拆卸式探头夹持装置包括基座固定块、光轴、支撑横杆、T型连接滑块、线缆线卡；基座固定块与二维平面移动系统的基座固定连接，基座固定块与光轴连接，光轴和支撑横杆通过T型连接滑块相连，近场测量探头通过线缆线卡夹持固定在支撑横杆上。

6.如权利要求1所述的近场电磁波测量系统，其特征在于所述的近场电磁波测量系统还包括可拆卸式探头夹持装置和可拆卸式上板束波装置；可拆卸式上板束波装置与二维平面移动系统可拆卸连接；可拆卸式上板束波装置包括上板、框架；上板为金属板；样品位于上板和水平调节装置之间；二维平面移动系统、升降台、水平调节装置和可拆卸式探头夹持装置均设置在所述框架内；上板中间区域开设有探测口；可拆卸式探头夹持装置为非金属材质；可拆卸式探头夹持装置包括光轴、T型连接滑块和支撑横杆；光轴与二维平面移动系统固定连接，光轴和支撑横杆通过T型连接滑块相连；支撑横杆位于样品上方区域设有用于夹持近场测量探头的卡夹；近场测量探头夹持固定在支撑横杆上或夹持固定在探测口内。

7.根据权利要求1所述的近场电磁波测量系统，其特征在于所述的二维平面移动系统包括第一单臂直线机器人、第二单臂直线机器人、设备基座、线性导轨；所述的第一单臂直线机器人和第二单臂直线机器人均包括伺服控制器、滑轨和滑块；伺服控制器控制滑块在滑轨上进行直线运动；线性导轨和第一单臂直线机器人设置在所述的设备基座上，线性导轨和第一单臂直线机器人的滑轨呈平行设置，且两者高度相等，第二单臂直线机器人的一端固定在所述第一单臂直线机器人的滑块上，另一端以可滑动方式安装在线性导轨上，第二单臂直线机器人的滑轨与线性导轨呈垂直安装；升降台固定在第二单臂直线机器人的滑块上。

8.根据权利要求1所述的近场电磁波测量系统，其特征在于所述的水平调节装置包括下平板、支撑限位板和若干水平调节件；所述的支撑限位板上表面设有与下平板形状相同的凹陷部，所述的凹陷部用于安装下平板；水平调节件固定在支撑限位板上，下平板底部由所述的若干水平调节件进行支撑。

9.根据权利要求8所述的近场电磁波测量系统，其特征在于所述的下平板开设有线孔，所述支撑限位板的凹陷部内设有线槽；所述的矢量网络分析仪的输出端的同轴线通过线槽和线孔后与样品相连。