[实用新型]一种易于疏通的真空镀膜机管道有效

专利信息
申请号: 201821058115.6 申请日: 2018-07-04
公开(公告)号: CN208378997U 公开(公告)日: 2019-01-15
发明(设计)人: 刘振波;霍锦辉;张向阳 申请(专利权)人: 刘振波
主分类号: C23C16/44 分类号: C23C16/44
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 518000 广东省深圳市*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 真空镀膜机 储存机构 横段 疏通 本实用新型 电能转化 镀膜设备 发热薄膜 硅藻颗粒 焦耳效应 纳米稀土 使用寿命 网状滤芯 液体流出 影响真空 气密性 电热 包覆 外壁 下端 纵段 拆卸 过滤 流出 融化 堵塞
【说明书】:

实用新型为一种易于疏通的真空镀膜机管道,包括纵段管道和横段管道,其中横段管道呈V字形,便于液体流出,在真空镀膜机管道的下端设置有储存机构,所述储存机构内设置有用于过滤杂质的网状滤芯以及硅藻颗粒,所述真空镀膜机管道的外壁包覆着一层纳米稀土电热发热薄膜,经焦耳效应将电能转化为热能来使真空镀膜机管道内的固体融化而自动流出,避免因堵塞需经常性拆卸管道而影响真空镀膜设备的气密性以及使用寿命。

技术领域

本实用新型涉及连续镀膜设备领域,更具体的说,涉及一种易于疏通的真空镀膜机管道。

背景技术

目前CVD真空镀膜技术被越来越多的应用到各种材料上,来赋予材料新的性能,现阶段CVD真空镀膜设备的药水进出管道会经常性的堵塞,一方面是由于含有一些固体杂质,更多的是镀膜时使用的药水容易发生凝固,所以需经常拆卸管道进行清理,但经常性拆卸管道对于真空性要求较高的真空镀膜设备来说容易造成损坏,会大大影响设备的气密性,缩短使用寿命,针对这一现状需设计新的方案进行改进。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足,本实用新型的目的是提供一种易于疏通的真空镀膜机管道。

为了解决上述存在的技术问题,本实用新型采用下述技术方案:

一种易于疏通的真空镀膜机管道,包括纵段管道和横段管道,所述纵段管道一端设置有进口,横段管道一端设置有出口,所述纵段管道下端通过第一螺套连接有用于收集废液的第一储存机构,所述纵段管道靠近下端处横向连接有横段管道,所述横段管道呈V字形,其中部设置有开口并连接有排污管,所述排污管下端通过第二螺套连接有第二储存机构,所述纵段管道和排污管的下端外侧壁均设置有环状卡部,所述第一螺套和第二螺套一端均设置有于环状卡部相配的卡突且内侧壁均设置有内螺纹,所述真空镀膜机管道的外壁包覆着一层纳米稀土电热发热薄膜。

更具体的,所述第一储存机构和第二储存机构均包括开口向上的储存箱,所述储存箱开口外壁均设置有与第一螺套和第二螺套的内螺纹相配的外螺纹,所述储存箱开口处设置有环状凸台,环形凸台上放置有铁网,所述铁网的上方设置有用于密封的环形橡胶圈,所述环形橡胶圈中部设置有用于放置过滤构件的凹形台阶。

更具体的,所述过滤构件为网状滤芯以及在网状滤芯上填充有硅藻颗粒。

更具体的,所述横段管道的V字形管道的两端管道与水平面夹角均为10°-30°。

更具体的,所述纳米稀土电热发热薄膜通过导线连接有限温器以及电源控制板。

更具体的,所述纳米稀土电热发热薄膜的厚度为0.04-0.10mm。

本实用新型存在优点及积极效果:

本实用新型为一种易于疏通的真空镀膜机管道,在真空镀膜机管道包覆一层一层纳米稀土电热发热薄膜,利用焦耳效应能迅速且高效的将电能转化为热能,通过加热使管道内的固体融化,并将横段管道设计为带有倾斜角度,有利于液体自动流出,避免经常性拆卸管道,影响真空设备的气密性以及使用寿命;设置网状滤芯以及硅藻颗粒可用于分离药水中的杂质。

附图说明

图1为实施例易于疏通的真空镀膜机管道正面剖视图。

图2为实施例为储存机构的正面剖视图。

具体实施方式

下面结合附图与具体实施方式对本实用新型作进一步详细描述,但本实用新型的实施方式不局限于此。

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