[实用新型]一种硅片制绒槽式机

说明书

本实用新型涉及一种硅片制绒槽式机，包括槽体(1)，位于所述槽体底部的循环管路(2)和位于所述循环管路上方的底板，其特征在于，所述底板包括固定基座(3)和实心板(4)，所述固定基座固定在所述槽体的槽壁上，所述实心板与所述固定基座可拆卸连接，所述底板设有硅片承载区，所述底板的硅片承载区外设有多个通孔(5)，通孔分别位于所述实心板和所述固定基座上。本实用新型一种硅片制绒槽式机，结构新颖，设计巧妙，分体式的底板和多个通孔有效降低了循环系统产生的气泡对硅片制绒的影响，同时降低了的检修作业难度，提升了整机运行的稳定性，最终有效提高了硅片产品的品质。

技术领域

本实用新型属于半导体器件制造技术领域，具体涉及一种硅片制绒槽式机及其底板装置。

背景技术

黑硅制绒是硅片经过表面抛光、镀银、挖孔、扩孔等工艺流程，在表面形成纳米绒面以降低多晶电池片的光反射率。其中，挖孔槽是关键反应槽，槽内化学药剂由一定比例的添加剂配置而成，硅片在槽内挖孔完成后，反应区域的药液浓度相对较低，设备会按一定比例添加化学品原液，此时需要通过槽式机的循环系统将药液搅拌均匀，避免因药液浓度不均匀导致的硅片品质异常。

现有技术中，搅拌过程会产生大量气泡并附着在硅片制绒槽式机底板的表面，底板气泡上浮经过硅片表面时，影响了硅片表面银离子的附着与化学反应，导致硅片表面形成了明显的色差。

实用新型内容

实用新型目的：本实用新型所要解决的技术问题在于针对现有技术的不足，提供一种能够消除流经硅片表面的气泡，确保硅片表面银离子的正常附着与反应的新型硅片制绒机。

技术方案：一种硅片制绒槽式机，包括槽体，位于所述槽体底部的循环管路和位于所述循环管路上方的底板，所述底板包括固定基座和实心板，所述固定基座固定在所述槽体的槽壁上，所述实心板与所述固定基座可拆卸连接，所述底板设有硅片承载区，所述底板的硅片承载区外设有多个通孔，通孔分别位于所述实心板和所述固定基座上。

作为优选，所述固定基座位于所述实心板的两侧，所述固定基座上的通孔数量大于所述实心板上的通孔数量。

作为优选，所述固定基座上均布有两排平行通孔。

作为优选，所述实心板中间设有可供机械臂夹持的夹持孔。

作为优选，所述固定基座和实心板之间通过插槽装置可拆卸连接。

作为优选，所述固定基座和所述槽体通过螺钉固定。

作为优选，所述循环管路为多个连通的弯管。

作为优选，所述底板的材料为聚偏氟乙烯。

有益效果：本实用新型一种硅片制绒槽式机，结构新颖，设计巧妙，分体式的底板和多个通孔降低了循环系统产生的气泡对硅片制绒的影响，同时降低了的检修作业难度，提升了整机运行的稳定性，最终有效提高了硅片产品的品质。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型硅片制绒槽式机的底板结构示意图。

具体实施方式

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，以下结合具体实施方式，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施方式仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“和/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。