[实用新型]一种硅片制绒槽式机

权利要求书

1.一种硅片制绒槽式机，包括槽体(1)，位于所述槽体底部的循环管路(2)和位于所述循环管路上方的底板，其特征在于，所述底板包括固定基座(3)和实心板(4)，所述固定基座固定在所述槽体的槽壁上，所述实心板与所述固定基座可拆卸连接，所述底板设有硅片承载区，所述底板的硅片承载区外设有多个通孔(5)，通孔分别位于所述实心板和所述固定基座上。

2.根据权利要求1所述的硅片制绒槽式机，其特征在于，所述固定基座(3)位于所述实心板(4)的两侧，所述固定基座上的通孔(5)数量大于所述实心板上的通孔数量。

3.根据权利要求2所述的硅片制绒槽式机，其特征在于，所述固定基座(3)上均布有两排平行通孔(5)。

4.根据权利要求1所述的硅片制绒槽式机，其特征在于，所述实心板(4)中间设有可供拆卸所述实心板的预留孔(6)。

5.根据权利要求1所述的硅片制绒槽式机，其特征在于，所述固定基座(3)和实心板(4)之间通过插槽装置可拆卸连接。

6.根据权利要求1所述的硅片制绒槽式机，其特征在于，所述固定基座(3)和所述槽体(1)通过螺钉固定。

7.根据权利要求1所述的硅片制绒槽式机，其特征在于，所述循环管路(2)为多个连通的弯管。

8.根据权利要求1所述的硅片制绒槽式机，其特征在于，所述底板的材料为聚偏氟乙烯。