[实用新型]研磨模块及包括其的基板研磨装置

权利要求书

1.一种研磨模块，其特征在于，其包括：

研磨垫，其设置于基板上部，与所述基板相接触并研磨所述基板；

基底部件，其下侧设置有所述研磨垫；

驱动轴，其设置于所述基底部件的上部；

流体供给部，其设置于所述驱动轴，通过所述驱动轴供给加压所述研磨垫的流体；以及

研磨液供给部，其在所述驱动轴，通过与所述流体供给部不同的流路，向基板的被研磨面供给研磨液。

2.根据权利要求1所述的研磨模块，其特征在于，

所述驱动轴形成有研磨液管，研磨液管形成为沿着所述驱动轴的长度方向从所述驱动轴的上端贯通至下端，用于供给研磨液，

所述研磨液管的上端与所述研磨液供给部相连通，下端与所述基底部件相连通。

3.根据权利要求2所述的研磨模块，其特征在于，

所述研磨液供给部以与所述研磨液管可拆卸的形式形成。

4.根据权利要求1所述的研磨模块，其特征在于，

还包括流体供给管体，流体供给管体设置于所述驱动轴，通过所述驱动轴向所述研磨垫供给流体，

所述流体供给管体以与所述驱动轴具有同轴的形式并以围绕所述驱动轴的外周的形式形成。

5.根据权利要求4所述的研磨模块，其特征在于，所述流体供给管体包括：

外壳，其形成有中孔，所述驱动轴插入于中孔；以及

流体管，其形成于所述外壳内部，提供流体的流动通道，以便流体供给至所述基底部件。

6.根据权利要求5所述的研磨模块，其特征在于，

形成有多个所述流体管，

所述多个流体管以所述驱动轴的中心为基准，沿着外壳的圆周方向以一定间隔配置。

7.根据权利要求6所述的研磨模块，其特征在于，

所述流体管的入口形成在所述外壳的外周面，出口与所述基底部件相连通。

8.根据权利要求7所述的研磨模块，其特征在于，

所述流体管的所述入口在所述外壳的外周面以相互不同的高度形成。

9.根据权利要求7所述的研磨模块，其特征在于，

所述流体管的所述出口以所述驱动轴的中心为基准，沿着外壳的圆周方向以一定间隔形成。

10.根据权利要求7所述的研磨模块，其特征在于，

还包括流体供给口，流体供给口向所述流体供给管体供给流体，

所述流体供给口与所述流体管的入口相连通。

11.根据权利要求10所述的研磨模块，其特征在于，

所述流体管的所述入口在所述外壳的外周面以相互不同的高度形成，

形成有分别与所述入口相连通的多个所述流体供给口。

12.根据权利要求1所述的研磨模块，其特征在于，

还包括分配板，分配板设置于所述基底部件的下侧，

所述分配板形成有多个喷射孔，喷射孔对从所述研磨液供给部供给的研磨液进行分配。

13.根据权利要求1所述的研磨模块，其特征在于，

所述研磨垫具有矩形、正方形、多边形、圆形、椭圆形中任意一种形状。

14.根据权利要求1所述的研磨模块，其特征在于，

还包括驱动部，驱动部以使得所述研磨垫以与所述基板相接触的状态旋转的形式进行驱动，

所述驱动部使得所述研磨垫进行与所述基板表面平行的圆轨道旋转或椭圆轨道旋转。

15.根据权利要求14所述的研磨模块，其特征在于，所述驱动部还包括：

偏心轴，其设置在与所述驱动轴偏心的位置。