[实用新型]测试探针

说明书

本实用新型提供一种测试探针，包括：主体；探头，探头可拆卸式连接于主体的前端；主体包括弹簧件，主体与探头在连接状态下弹簧件为探头施加轴向方向上的作用力。探头还包括传感器，传感器用于检测数据。本实用新型还提供一种探针固定座，探针固定座用于固定上述的测试探针，测试探针插入探针固定座中，探针固定座包含至少2条不同的信号传输路径。本实用新型可以通过添加或更换模块的方式来满足不同用户的个性化需求，还可以快速便捷的更换磨损部件，升级单个模块或减少非必要模块来降低成本。测试探针的模块化使最终用户的更换成本可降低了50％以上。

技术领域

本实用新型涉及半导体器件的测试领域。具体地，本实用新型涉及一种用于集成电路的测试探针以及该测试探针的固定座。

背景技术

接触式测试装置用于印刷电路板和电子元件等电气检查，该装置使用具有导电性的测试探针以及支撑测试探针并使其能沿轴向自由活动的夹具，为使探针的突出端能向夹具的前端(轴向一端)探出而用弹簧对其赋能，从而使探针弹出与检查对象的待测组件接触。现阶段，探针多作为集成电路(integrated circuit,IC)芯片(待测组件)和测试仪器之间的媒介，探针通过和待测组件接触并将所探测信号传送至测试仪器而得知待测组件是否为良品。

目前市场上的测试探针不包括传感器。因而无法监测探针与待测物的距离以及他们之间的应力。此外，受弹簧寿命的限制，探针使用一段时间后便需要整支进行更换，然而更换成本高昂。另外，就额外增加的传感器而言，传感器及相关电路需要额外的安装板，这将增加安装的复杂性和占用的空间。

目前，市场上大多数的测试探针都仅由2部分组成的，如图1所示，探针10包括弹簧探头11和相应的固定座12，弹簧探头11位于固定座12中。在测试中将此类探针下压以接触待测物时，往往会因其弹性原因，在探针与待测物之间产生累积过大的应力，进而导致待测物磨损或是探针的损耗。而且，传统的弹簧探针是圆形的，这是因为传统的弹簧探针的主要功能是对印刷电路板上的点提供可靠的电连接。传统的弹簧探针并不要求其固定或抗旋转特性。但是,如果弹簧探头连接传感器板102(sensor plate),探头的旋转将影响测量结果。因此，防止探头旋转对于准确对齐是十分重要的。另一个重要的应用功能是允许连接非常小的传感器板，例如4mm x 4mm。

有鉴于此，设计一种结构紧凑、扩展兼容性强，更换成本较低测试探针是本实用新型所要解决的技术问题。而且，还需要一种能够防止旋转的探头以提高测量精度。

发明内容

有鉴于此，本实用新型提供一种测试探针，以解决现有技术中更换成本高、使用寿命短、不易维护维修等问题。

一方面，本实用新型提供一种测试探针，包括：

主体；

探头，所述探头可拆卸式连接于所述主体的前端；

所述主体包括一个或多个弹簧件，当所述主体与所述探头在连接状态时所述弹簧件为所述探头施加轴向方向上的作用力。

优选地，探头还包括传感器，所述传感器嵌入在所述探头中与所述探头为一体化的，所述传感器用于检测数据。更优选地，所述传感器是柱塞式传感器(sensor plunger)。

优选地，传感器检测的数据为电流、电压、温度、压力、距离中的至少一种。

优选地，探头还包括连接部，所述连接部位于所述探头的尾部，用于与所述主体相连接，所述连接部包括导电体，所述导电体用于传导电信号，所述弹簧件与所述导电体相接触。

优选地，弹簧件至少为2个。

优选地，测试探针还包括连接件，所述探头与所述主体通过所述连接件相连接。