[实用新型]掩膜板及蒸镀设备有效
| 申请号： | 201820898436.0 | 申请日： | 2018-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN208279677U | 公开（公告）日： | 2018-12-25 |
| 发明（设计）人： | 张新建;王震;张德 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;张博 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 掩膜板 本实用新型 蒸镀设备 支撑条 显示面板边缘 延展性 贴合状态 显示区域 相对设置 像素开口 蒸镀基板 侧沿 混色 贴合 开口 | ||
1.一种掩膜板，包括：
框架；
第一掩膜板，设置于所述框架上，所述第一掩膜板上设置有用于限定显示区域的形状的开口；
第二掩膜板，设置于所述第一掩膜板的第一侧，所述第二掩膜板上设有多个像素开口；
其特征在于，还包括设置于所述第一掩膜板的第二侧的支撑条，所述第一侧与所述第二侧沿所述第一掩膜板的厚度方向相对设置。
2.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述第二掩膜板为由多个掩膜条组成的精细金属掩膜板，所述支撑条与所述掩膜条相交设置。
3.根据权利要求2所述的掩膜板，其特征在于，所述支撑条与所述第一掩膜板连接的一侧间隔设置有多个凸起，所述凸起支撑连接于所述第一掩膜板上。
4.根据权利要求3所述的掩膜板，其特征在于，每个所述掩膜条的多个所述像素开口划分为多个第一区域，每个所述第一区域与一所述开口相对应。
5.根据权利要求4所述的掩膜板，其特征在于，每个所述凸起在所述第二掩膜板上的投影位于相应的相邻两个所述第一区域之间的区域内。
6.根据权利要求3所述的掩膜板，其特征在于，所述凸起在所述第一掩膜板的厚度方向上的厚度为50-100um。
7.根据权利要求2所述的掩膜板，其特征在于，所述支撑条与所述掩膜条相垂直设置。
8.根据权利要求4所述的掩膜板，其特征在于，所述第二掩模板上的所述第一区域为矩形。
9.根据权利要求8所述的掩膜板，其特征在于，所述第一掩膜板上的开口为圆形，所述开口在所述第二掩模板上的正投影落于所述第一区域内。
10.一种蒸镀设备，其特征在于，包括权利要求1-9任一项所述的掩膜板。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司，未经京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201820898436.0/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种银饰硫化处理装置
- 下一篇：转换式物理气相沉积粒子源
- 同类专利
- 专利分类
