[实用新型]一种机械型气体质量流量控制器

说明书

本实用新型公开了一种机械型气体质量流量控制器，包括前卡块、透气孔、串口九针座数据接口、驱动电机和固定块，所述前卡块的前侧安装有观察窗，且前卡块的后侧连接有后卡块，所述前卡块的外侧设置有固定钉，且前卡块的底端连接有支脚，所述透气孔位于后卡块的外侧，所述计量管顶端连接有橡胶垫，所述计量管的中部上方安装有分流管，所述PCB电路板的上方设置有显示窗口，所述串口九针座数据接口安装在显示窗口的上方，所述驱动电机位于感应圈的下方，所述驱动轮的外侧连接有传动带，所述固定块安装在传动带的左侧。该机械型气体质量流量控制器，便于进行安装，方便进行气体管道的连接，阀芯不易损坏，方便进行调节。

技术领域

本实用新型涉及气体质量流量控制器技术领域，具体为一种机械型气体质量流量控制器。

背景技术

气体质量流量控制器用于对气体质量流量进行精密测量及控制，主要应用于半导体集成电路工艺、特种材料、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中，而现有的气体质量流量控制器不便于进行安装，不方便进行气体管道的连接，阀芯调节方式多采用电磁装置，容易受到损坏，因此，我们提出一种机械型气体质量流量控制器，以便于解决上述中提出的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种机械型气体质量流量控制器，以解决现有技术中存在的气体质量流量控制器不便于进行安装，不方便进行气体管道的连接，阀芯调节方式多采用电磁装置，容易受到损坏的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种机械型气体质量流量控制器，包括前卡块、透气孔、串口九针座数据接口、驱动电机和固定块，所述前卡块的前侧安装有观察窗，且前卡块的后侧连接有后卡块，所述前卡块的外侧设置有固定钉，且前卡块的底端连接有支脚，所述透气孔位于后卡块的外侧，且后卡块的内部安装有计量管，所述计量管顶端连接有橡胶垫，且计量管的外侧连接有紧定套，所述计量管的中部上方安装有分流管，且分流管的上方设置有PCB电路板，所述PCB电路板的上方设置有显示窗口，且显示窗口的右侧设置有感应圈，所述串口九针座数据接口安装在显示窗口的上方，且串口九针座数据接口的右侧设置有S端子，所述驱动电机位于感应圈的下方，且驱动电机的输出端连接有驱动轮，所述驱动轮的外侧连接有传动带，且传动带的内侧上方安装有从动轮，所述固定块安装在传动带的左侧，且固定块的左侧连接有连接杆，并且连接杆的底部连接有阀芯。

优选的，所述前卡块与观察窗的连接方式为镶嵌连接，且观察窗的内围尺寸不小于显示窗口的外围尺寸，前卡块与后卡块之间为拆卸结构，且前卡块通过固定钉与后卡块固定连接。

优选的，所述透气孔等间距分布在后卡块的外侧，且后卡块与计量管的连接方式为卡合连接。

优选的，所述紧定套在计量管的外侧为转动结构，且紧定套的内壁结构呈螺纹结构。

优选的，所述分流管与计量管为一体化结构，且分流管的左右两侧呈弧形结构。

优选的，所述驱动轮、从动轮与传动带构成连动结构，且驱动轮和从动轮与传动带的连接方式均为啮合连接，并且传动带、固定块、连接杆与阀芯构成连动结构。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该机械型气体质量流量控制器，便于进行安装，方便进行气体管道的连接，阀芯不易损坏，方便进行调节；

(1)本实用新型设置有固定钉与支脚，通过固定钉便于将前卡块和后卡块固定连接到一起，便于进行安装，且通过支脚便于对该控制器的位置进行固定，便于进行使用；

(2)本实用新型设置有橡胶垫和紧定套，能够保证气体管道与计量管连接处的密闭性，保证了气体管道与计量管的连接紧密程度；

(4)本实用新型设置有传动带，传动带与主动轮和从动轮均为啮合连接，能够避免传动带滑动，便于对阀芯的位置进行调节，能够避免阀芯遭受损坏，有利于长期进行使用。

附图说明