[实用新型]新型微波电沉积系统有效
| 申请号： | 201820809350.6 | 申请日： | 2018-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN208414585U | 公开（公告）日： | 2019-01-22 |
| 发明（设计）人： | 熊信柏;于朔;刘玲;马俊;曾燮榕 | 申请（专利权）人： | 深圳大学 |
| 主分类号： | C25D5/00 | 分类号： | C25D5/00;C25D17/00;C25D21/12;C25D21/02 |
| 代理公司： | 深圳中一专利商标事务所 44237 | 代理人： | 官建红 |
| 地址： | 518000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 反应釜装置 微波电源 电连接 开关控制装置 本实用新型 电沉积系统 微波发生器 承载装置 温控元件 新型微波 正负电极 直流电源 釜盖 釜体 制备 回流冷凝管 插接安装 反应效率 釜体内壁 微波穿透 一端开口 运行性能 周向环绕 电沉积 反应釜 隔离层 结合力 冷却管 嵌入 体内 延伸 | ||
1.一种新型微波电沉积系统，其特征在于，包括反应釜装置，所述反应釜装置包括一端开口的釜体、盖设于所述开口处的釜盖、安装于所述釜体内的微波穿透隔离层、安装于所述釜体底部的微波发生器、周向环绕且嵌入所述釜体内壁的冷却管；
还包括用于安装并固定所述反应釜装置的承载装置、微波电源、开关控制装置、直流电源；
以及，还包括均插接安装于所述釜盖上并分别延伸至所述反应釜的温控元件、正电极、负电极及回流冷凝管；
其中，所述反应釜装置可拆卸固定在所述承载装置上；所述微波电源与所述微波发生器电连接；所述开关控制装置与所述微波电源电连接，并与市电电连接，同时还与所述温控元件有信号传输；所述直流电源分别与所述正电极、负电极电连接。
2.如权利要求1所述的新型微波电沉积系统，其特征在于，所述正电极、负电极均为以耐热绝缘高分子为包覆层的碳/碳复合电极。
3.如权利要求2所述的新型微波电沉积系统，其特征在于，所述碳/碳复合电极的密度为1.7～2.0g/cm3。
4.如权利要求1所述的新型微波电沉积系统，其特征在于，所述微波发生器上还具有向所述微波穿透隔离层发射微波的微波发射端。
5.如权利要求1所述的新型微波电沉积系统，其特征在于，所述开口所在的釜体端面上开设有密封槽，所述密封槽上放置有密封圈。
6.如权利要求1所述的新型微波电沉积系统，其特征在于，所述承载装置上安装有可调节所述釜盖升降的螺旋滑杆，所述螺旋滑杆通过压块与所述釜盖连接。
7.如权利要求1所述的新型微波电沉积系统，其特征在于，所述承载装置为一箱体结构，靠近所述箱体结构的底部安装有用于散热的风扇。
8.如权利要求1所述的新型微波电沉积系统，其特征在于，所述微波穿透隔离层为石英层或蓝宝石玻璃层。
9.如权利要求1所述的新型微波电沉积系统，其特征在于，所述开关控制装置具有微波发生频率调节模块。
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