[实用新型]一种电子束熔丝增材制造设备及表面成形状态监测装置

权利要求书

1.一种电子束熔丝增材制造表面成形状态监测装置，其特征在于，该监测装置包括电磁屏蔽外壳(1)、冷却水管(2)、激光位移传感器(3)、传感器固定夹具(4)、传感器控制器(8)及监测装置固定夹具(9)；

所述电磁屏蔽外壳(1)通过所述监测装置固定夹具(9)安装在电子束熔丝增材制造设备的运动执行机构(7)上；

所述冷却水管(2)位于所述电磁屏蔽外壳(1)中；所述激光位移传感器(3)通过所述传感器固定夹具(4)固定于所述冷却水管(2)上，其发射激光经工件反射后接收，用以测距；

所述传感器控制器(8)分别传输连接所述激光位移传感器(3)和计算机(10)，用以接收所述激光位移传感器(3)的包括电流、电压的模拟量数据，并将其传输到所述计算机(10)中。

2.如权利要求1所述的电子束熔丝增材制造表面成形状态监测装置，其特征在于：所述电磁屏蔽外壳(1)上开设有第一孔，该第一孔处设有一块玻璃，使所述激光位移传感器(3)能顺利将激光射出所述电磁屏蔽外壳(1)。

3.如权利要求1所述的电子束熔丝增材制造表面成形状态监测装置，其特征在于：所述电磁屏蔽外壳(1)两端各开有一个第二孔，用以引出所述冷却水管(2)，并起支撑所述冷却水管(2)的作用。

4.如权利要求3所述的电子束熔丝增材制造表面成形状态监测装置，其特征在于：所述电磁屏蔽外壳(1)为圆柱体，两端圆形截面各开有一个所述第二孔。

5.如权利要求3-4任一项所述的电子束熔丝增材制造表面成形状态监测装置，其特征在于：所述冷却水管(2)为螺旋状。

6.一种电子束熔丝增材制造设备，其特征在于：包括如权利要求1-5任一项所述的电子束熔丝增材制造表面成形状态监测装置。