[实用新型]一种微腔结构多比特输入的光学逻辑器件

权利要求书

1.一种微腔结构多比特输入的光学逻辑器件，其特征在于，包括金属衬底、金属-介质-金属波导和多个微环谐振器，所述的金属衬底具有上表面，在上表面刻蚀有金属-介质-金属波导，金属-介质-金属波导两侧分别刻蚀有微环谐振器；所述的金属-介质-金属波导与微环谐振器具有同等高度，且最高处高于或等于金属衬底表面。

2.根据权利要求1所述的微腔结构多比特输入的光学逻辑器件，其特征在于，所述的微环谐振器个数为三个，其中两个微环谐振器刻蚀于金属-介质-金属波导的同一侧，另一个微环谐振器刻蚀于金属-介质-金属波导的另一侧，该微环谐振器的圆心位于同侧微环谐振器圆心连线的垂直平分线上。

3.根据权利要求1所述的微腔结构多比特输入的光学逻辑器件，其特征在于，所述的金属-介质-金属波导为矩形凹槽结构，凹槽结构内部填充的介质为空气，凹槽结构长度大于入射光的波长，凹槽结构宽度为10nm至160nm。

4.根据权利要求1所述的微腔结构多比特输入的光学逻辑器件，其特征在于，所述的金属衬底的材料采用低德鲁德损耗的银介质。

5.根据权利要求1所述的微腔结构多比特输入的光学逻辑器件，其特征在于，所述的金属-介质-金属波导具有两个端口，所述两个端口完全等价，均可作为表面等离激元的输入端和输出端，进行交叉复用。

6.根据权利要求2所述的微腔结构多比特输入的光学逻辑器件，其特征在于，所述的微环谐振器，具有完全相同的结构参数，外环半径均为200nm至450nm，内环半径均为150nm至400nm，内环半径小于外环半径的值在10nm至80nm之间；圆心距离波导边缘均为200nm至400nm，同侧的环形谐振器的圆心距为400nm至2000nm。

7.根据权利要求1或2所述的微腔结构多比特输入的光学逻辑器件，其特征在于，所述的微环谐振器，其内部均填充有相同的折射率可调介质，折射率调节范围为1.00～1.06。

8.根据权利要求1或2所述的微腔结构多比特输入的光学逻辑器件，其特征在于，所述的微环谐振器，分别作为输入端口，通过调节其内电介质的折射率控制PIT效应的产生和耦合谐振波长的移动，在输入端口处的固定波长上获得所需逻辑操作。