[实用新型]一种掩膜板框架有效
| 申请号: | 201820780470.8 | 申请日: | 2018-05-23 |
| 公开(公告)号: | CN208127246U | 公开(公告)日: | 2018-11-20 |
| 发明(设计)人: | 吕守华 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
| 主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56;C23C14/04 |
| 代理公司: | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人: | 郭润湘 |
| 地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 掩膜板 边框 底面 封闭环形结构 摩擦凸起 产品良率 首尾相连 显示设备 中心方向 凸出 定位柱 反方向 焊接面 挤压力 夹角为 框架本 形变 顶面 抗力 锐角 载台 挤压 施加 制造 | ||
本实用新型涉及显示设备制造技术领域,公开了一种掩膜板框架,该掩膜板框架包括依次首尾相连以形成封闭环形结构的多个边框,每个边框的顶面形成掩膜板焊接面,且每一个边框的底面形成有多个凸出底面的摩擦凸起。该掩膜板框架通过在边框的底面设置倾斜于底面且与边框的底面形成的夹角中朝向封闭环形结构中心方向的夹角为锐角的摩擦凸起,加大了底面与放置掩膜板框架的载台之间的摩擦力和受到载台上定位柱施加的挤压力后的反方向抗力,从而能够改善在放置过程中受挤压而发生形变的情况,进而达到提高产品良率的效果。
技术领域
本实用新型涉及显示设备制造技术领域,特别涉及一种掩膜板框架。
背景技术
现有的有机蒸镀镀膜是在蒸镀腔室中进行,利用高精度金属掩膜板作为模具,有机材料高温挥发后以材料分子状态透过金属掩膜板的有效开口蒸镀到背板玻璃上实现有机发光。其中,金属掩膜板通过掩膜板框架固定,背板玻璃放置于金属掩膜板上,掩膜板框架放在载台上,有机材料从坩埚经高温挥发到背板玻璃上,形成有效像素图案。现有技术中的掩膜板框架放置到载台上后,容易与载台上的定位柱发生接触,定位柱的位置是固定的,会和与定位柱接触的掩膜板框架发生相对对抗力,使得掩膜板框架产生形变,形变如图1所示,从而导致与掩膜板框架固定的金属掩膜板的位置发生偏移,造成蒸镀混色等不良发生。
实用新型内容
本实用新型提供了一种掩膜板框架,上述掩膜板框架能够改善在放置过程中受挤压而发生形变的情况,进而达到提高产品良率的效果。
为达到上述目的,本实用新型提供以下技术方案:
一种掩膜板框架,包括依次首尾相连以形成封闭环形结构的多个边框,每个所述边框的顶面形成掩膜板焊接面,且每一个所述边框的底面形成有多个凸出所述底面的摩擦凸起。
上述掩膜板框架包括依次首尾相连以形成封闭环形结构的多个边框,其中每个边框的顶面形成掩膜板焊接面,掩膜板焊接面用来焊接掩膜板,使得掩膜板固定于多个边框形成的封闭环形结构中间,有机材料高温挥发后通过封闭环形结构中间对应的掩膜板区域后蒸镀到背板玻璃上;每一个所述边框的底面形成有多个凸出所述底面的摩擦凸起,摩擦凸起能够在掩膜板框架放置到载台上时,加大掩膜板框架与载台接触的表面之间的摩擦力,减少掩膜板框架因与载台上的定位柱接触而发生的变形,从而防止与掩膜板框架固定的金属掩膜板的位置发生偏移,减少因金属掩膜板位置偏移而造成的蒸镀混色现象的发生,从而大大提高蒸镀良率。
优选地,至少一个所述边框具有开口位于底面的多个凹槽,每相邻的两个所述凹槽之间形成一个所述摩擦凸起。
优选地,每一个所述边框的底面形成有沿所述边框外边缘指向所述边框中心方向排列的多排摩擦凸起。
优选地,每一个所述边框具有的摩擦凸起在所述边框的底面呈阵列分布。
优选地,沿与所述边框的底面垂直的方向,每一个所述摩擦凸起的高度为5μm至10μm。
优选地,每相邻两个所述摩擦凸起的之间的间距为1mm至5mm。
优选地,所述摩擦凸起倾斜设置于所述底面且所述摩擦凸起与所述边框的底面形成的夹角中朝向所述封闭环形结构中心方向的夹角为锐角。
优选地,每一个所述边框背离所述封闭环形结构中心的侧边具有阶梯状结构,所述阶梯状结构的阶梯面背离所述边框的底面、且与所述边框的顶面平行。
优选地,所述边框的底面与所述掩膜板焊接面之间的最大距离为20mm至30mm,其中所述阶梯面与所述掩膜板焊接面之间的距离为10mm至20mm。
优选地,所述边框包括多个定位机构。
附图说明
图1为现有技术中掩膜板框架形变示意图;
图2为本实用新型中提供的一种掩膜板框架底面示意图;
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择





