[实用新型]一种化学气相沉积炉气体预热装置

权利要求书

1.一种化学气相沉积炉气体预热装置，其特征为：所述装置由底座(1)、底板(2)、换热底座(3)、顶筒(5)、顶盖(6)、换热段(4)六部分组成；

所述底座(1)放置于炉膛底部，中心孔与炉膛进气口对正，其外圆设计有台阶槽，用于和其上部的底板(2)装配并实现两者之间的内腔密封；

所述底板(2)用于安装换热器和承载工件，通过其外圆的台阶装配于底座(1)之上，与底座(1)之间形成碳源气通路；其上设计有若干个换热器底座安装孔(2Ⅰ)，用于在其上安装换热段(4)；

所述换热底座(3)安装于底板(2)的换热底座安装孔(2Ⅰ)上，通过与底板(2)的配合使碳源气从换热底座(3)内蜂窝孔(4Ⅱ)进入换热底座(3)；

所述换热段(4)为一个或若干个换热体连接组成；与换热底座(3)通过台阶孔装配形成相互封闭的内环腔(7)和外环腔(8)，内环腔(7)对应的蜂窝孔气流向上流动，外环腔(8)对应的蜂窝孔气流向下流动；内环腔(7)和外环腔(8)的设计使换热体之间或换热段(4)与换热底座(3)之间只需保证轴向对正装配即可确保各部件蜂窝孔上下连通；

所述顶筒(5)通过其外圆的台阶装配于换热段(4)之上；

所述顶盖(6)通过外圆台阶装配于顶筒(5)上，顶盖(6)和顶筒(5)组合将预热气体封闭在换热装置内部；顶筒(5)和顶盖(6)组合形成的封闭腔体使上升气流折向下进入外环腔(8)；消除了气流冲击导致的顶盖(6)移位问题。

2.根据权利要求1所述的化学气相沉积炉气体预热装置，其特征为：所述底座(1)的上中部设有导流筋条(1Ⅰ)，用于延长碳源气在其上流动距离。

3.根据权利要求1所述的化学气相沉积炉气体预热装置，其特征为：所述换热底座(3)外设计有密集换热体沟槽(4Ⅰ)以增加吸热面积，其内设计密集的内蜂窝孔(4Ⅱ)实现与碳源气的充分接触和换热。

4.根据权利要求1所述的化学气相沉积炉气体预热装置，其特征为：所述顶盖(6)上设有若干锥形突起缓冲锥(6Ⅰ)并伸入顶筒(5)内腔，用于增加顶盖重量，避免气流冲击过大将顶盖(6)吹掉或移位失效问题，锥形突起缓冲锥(6Ⅰ)还可起到缓冲上升气流的功能。