[实用新型]真空测量装置及深冷液体储运系统

权利要求书

1.一种真空测量装置，其特征在于，包括：组合真空规管、真空阀、过渡接头及真空测量仪，其中：

所述组合真空规管内部设置有热偶规及热阴极电离规；

所述真空阀的一端与所述组合真空规管密封连接，另一端与所述过渡接头的一端密封连接；

所述过渡接头的另一端设置为用于伸入待测设备的真空腔室的侧两端，并与所述待测设备密封固定，使所述真空腔室与所述真空阀及所述组合真空规管能形成通路；

所述真空测量仪与所述组合真空规管连通，并与所述热偶规及所述热阴极电离规电性连接。

2.如权利要求1所述的真空测量装置，其特征在于，

所述组合真空规管与所述真空阀通过第一高真空法兰连接固定；

所述第一高真空法兰之间设置有第一金属密封垫板；

所述过渡接头与所述真空阀通过第二高真空法兰连接固定；

所述第二高真空法兰之间设置有第二金属密封垫板。

3.如权利要求2所述的真空测量装置，其特征在于，所述第一金属密封垫板及所述第二金属密封垫板都为无氧铜制环形板。

4.如权利要求1所述的真空测量装置，其特征在于，

所述真空阀采用不锈钢制成，并经酸洗、钝化及脱酯处理后再装配到所述真空测量装置中；

所述过渡接头采用奥氏体不锈钢制成。

5.如权利要求1所述的真空测量装置，其特征在于，所述真空测量仪，用于：

在进行真空度检测时，通过所述组合真空规管、所述真空阀及所述过渡接头检测并获得所述真空腔室的初检真空度；

当所述初检真空度大于等于0.1Pa且小于等于大气压时，发送指令到所述热偶规，指示所述热偶规测量所述待测设备内的真空腔室的真空度，此时，所述热阴极电离规不工作；

当所述初检真空度小于0.1Pa时，发送指令到所述热阴极电离规，指示所述热阴极电离规测量所述待测设备的真空腔室内的真空度，此时，所述热偶规不工作。

6.一种深冷液体储运系统，其特征在于，包括权利要求1～5任一项所述的真空测量装置，还包括深冷液体储运设备，

所述深冷液体储运设备的真空绝热夹套罐体，所述真空绝热夹套罐体的夹套空间为所述真空腔室；

所述过渡接头的另一端伸入所述深冷液体储运设备的真空腔室，并与所述深冷液体储运设备密封固定，使所述真空腔室与所述真空阀及所述组合真空规管能形成通路。

7.如权利要求6所述的深冷液体储运系统，其特征在于，

所述深冷液体的静电火花点火能量不大于0.06mJ；

所述深冷液体可以是液化天然气、氧、氮或氩中的一种。

8.如权利要求6所述的深冷液体储运系统，其特征在于，所述过渡接头插入所述夹套空间，并与所述真空绝热夹套罐体的外壳焊接固定。

9.如权利要求6所述的深冷液体储运系统，其特征在于，

当所述真空绝热夹套罐体的夹层绝热形式为真空粉末绝热时，所述真空测量装置还设置有过滤部件，

所述过滤部件固定在所述过渡接头伸入所述夹套空间的端部；

所述过滤部件为多孔材料制作而成。

10.如权利要求9所述的深冷液体储运系统，其特征在于，

所述过滤部件通过粉末烧结成多孔材料；

所述过滤部件与所述过渡接头的端部螺纹固定。