[实用新型]一种防护板组件及镀膜设备

说明书

本实用新型涉及镀膜设备技术领域，公开了一种防护板组件及镀膜设备，防护板组件包括：至少一块普通钢板和至少一块花纹板，普通钢板与花纹板层叠设置，其中至少一块花纹板的至少一侧面设置有花纹，且防护板组件的最外侧为设置有花纹的一侧面；防护板组件设于镀膜设备的腔室的内壁，防护板组件背离腔室的内壁的侧面设有花纹。花纹板由于其表面花纹结构，具有良好的热反射性能，热反射率可达85％～95％，能够较普通钢板反射更多的热量；花纹板较钼板成本低廉；该防护板组件具有较好的热屏蔽效果，减少了内部热量向外耗散，能够保持腔室内部温度的稳定性，提升了镀膜工艺的稳定性，提高产品良好率。

技术领域

本实用新型涉及高温真空镀膜设备技术领域，尤其涉及一种防护板组件及镀膜设备。

背景技术

共蒸发镀膜工艺中，在真空状态下将待镀材料加热后，达到一定的温度使其蒸发，以分子或原子的形态进入空间沉积在基片表面。真空设备的腔体内部温度比较高，需安装热防护板，减少内部热量向外部扩散，设备外部还需要采取降温措施对其进行降温处理。

目前，当真空腔室内部温度大于1000℃时，普遍采用钼板作为热防护板，当温度小于1000℃时，则采用一层或几层贴合在一起的普通304钢板作为热防护板。

正常工作情况下，共蒸发镀膜工艺中，镀膜设备腔体内部温度为500℃至600℃，温度较高。如果使用普通304钢板，则热屏蔽效果不佳，对设备外部水冷系统提出了很高的要求；同时，内部环境温度分布均匀性及稳定性受到一定程度的影响，同时对加热器提出了更高的要求。若采用钼板，因材料特殊，成本较高，而且未能充分发挥钼板的材料的优势性能。

因此，亟需一种防护板组件及镀膜设备，以解决上述技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的之一在于提出一种防护板组件，其具有较好的热屏蔽效果，且成本较低。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种防护板组件，包括：

至少一块普通钢板和至少一块花纹板，所述普通钢板与所述花纹板层叠设置，其中至少一块所述花纹板的至少一侧面设置有花纹，且所述防护板组件的最外侧为设置有花纹的一侧面。

花纹板由于其表面花纹结构，具有良好的热反射性能，其热反射率可达85％～95％；其能够较普通钢板反射更多的热量，减少了热量向外耗散；此外，花纹板较钼板成本低廉。

优选地，所述花纹板的材质为金属。

优选地，所述花纹板为不锈钢花纹板。

优选地，所述花纹为凸起。

优选地，所述凸起的形状为圆豆形、扁豆形、菱形或扁圆形。

优选地，所述普通钢板和所述花纹板的数量均为一块。

优选地，所述防护板组件的相邻两块板之间设置有间隙，或相邻两块板紧密贴合。

优选地，所述防护板组件的所有板固定连接。

优选地，所述防护板组件的所有板通过卡销、螺栓、销钉或铆钉固定连接在一起。

本实用新型的另一目的在于提出一种镀膜设备，其内壁上的防护板组件具有较好的热屏蔽效果，且成本较低。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种镀膜设备，包括如上所述的防护板组件，所述防护板组件设置于所述镀膜设备的腔室的内壁，所述防护板组件背离所述腔室的内壁的侧面设有花纹。