[实用新型]一种内部可清洗的研磨头结构有效
| 申请号： | 201820562210.3 | 申请日： | 2018-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN208147615U | 公开（公告）日： | 2018-11-27 |
| 发明（设计）人： | 叶维坚;张弢;蒋德念 | 申请（专利权）人： | 上海华力集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/30 | 分类号： | B24B37/30;B24B55/06 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 俞涤炯 |
| 地址： | 201315 上海市浦东新区中国（上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 研磨头 清洗装置 研磨 清洗 可清洗 隔膜 本实用新型 研磨头主轴 供气装置 供水装置 内置通道 研磨设备 主体顶部 轮廓线 容纳槽 水气 划伤 内置 残留 | ||
1.一种内部可清洗的研磨头结构，其特征在于，包括：研磨头主体、研磨头隔膜、研磨头主轴、研磨清洗装置以及辅助清洗装置，所述研磨头主体的底部开设有容纳槽，所述容纳槽内嵌设有所述研磨头隔膜，在所述研磨头主体和所述研磨头隔膜的下方设置有所述研磨清洗装置，同时，在所述研磨头主体的顶部设置有一所述研磨头主轴，并在所述研磨头主轴和所述研磨头主体中设置有内置的所述辅助清洗装置，并且所述辅助清洗装置在所述研磨头主体内沿所述容纳槽和所述研磨头隔膜形成的间隙的轮廓线布置。
2.根据权利要求1所述的内部可清洗的研磨头结构，其特征在于，所述辅助清洗装置为内置通道，所述辅助清洗装置在所述研磨头主轴中为沿所述研磨头主轴的轴向布置的第一内置通道，所述辅助清洗装置在所述研磨头主体中为第二内置通道。
3.根据权利要求2所述的内部可清洗的研磨头结构，其特征在于，所述第二内置通道分为清洗通道和连接通道，所述清洗通道为首尾相接的闭式弧形结构，所述连接通道一端与所述清洗通道连通，所述连接通道的另一端连接所述研磨头主轴中的所述第一内置通道。
4.根据权利要求3所述的内部可清洗的研磨头结构，其特征在于，所述清洗通道的弧形方向沿所述容纳槽和所述研磨头隔膜形成的间隙的轮廓线布置，同时，在所述清洗通道上开设有若干喷口，所述喷口均与所述清洗通道连通。
5.根据权利要求2所述的内部可清洗的研磨头结构，其特征在于，所述辅助清洗装置连接有供水装置和供气装置。
6.根据权利要求5所述的内部可清洗的研磨头结构，其特征在于，所述供水装置和所述供气装置通过控制阀门均连接在所述研磨头主轴中的所述内置通道上。
7.根据权利要求1所述的内部可清洗的研磨头结构，其特征在于，所述研磨清洗装置的喷射范围覆盖整个所述研磨头主体的底部端面。
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