[实用新型]一种物理化学气相沉积装置

说明书

本实用新型公开了一种物理化学气相沉积装置，包括机壳，机壳的下方设有一个底座，底座的内部设有一个气罐，气罐的内部设有气泵，底座的上方设有一根支撑柱，机壳上还设有中控部件，中控部件包括壳体，壳体的内部设有蓄电池，蓄电池电连接有充电电路，该物理化学气相沉积装置中，通过旋转接头的转动，来使得斜齿轮控制凸轮转动，能够实现喷气管的上下摆动，使得气体进入到机壳中的时候，能够均匀导入，提高了装置的实用性；不仅如此，通过充电电路，能够对蓄电池进行可靠充电，提高了装置的可靠性，本实用新型设计合理，适合推广使用。

技术领域

本实用新型涉及应用仪器设备技术领域，具体涉及一种物理化学气相沉积装置。

背景技术

在现有的物理化学气相沉积装置中，在对气体进行导入的时候，都是通过一个导入管导入，这样就会造成装置内部的气体局部过多，需要通过长时间的均匀以后，才可以进行试验，这样就降低了装置的效率；不仅如此，为了增加装置的智能化，一般都是加入智能化部件，此时就需要蓄电池来对其提供续航，而在对蓄电池进行充电的时候，会因为内部的充电电路缺少有效的反馈，导致了过充等现象，从而降低了装置的可靠性。

实用新型内容

本实用新型为了克服上述的不足，提供一种物理化学气相沉积装置。

本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的：

一种物理化学气相沉积装置，包括机壳，机壳的下方设有一个底座，底座的内部设有一个气罐，气罐的内部设有气泵，底座的上方设有一根支撑柱，且通过支撑柱与机壳连接，支撑柱的两侧均设有一根导管，气罐与两根导管均连通，每根导管连接有一根喷气管，每根喷气管的一端位于机壳的内部，另一端铰接有一根升降杆，升降杆的底端设有一个水平设置的平板，该平板的下方设有一个凸轮，该凸轮同轴设置有一个斜齿轮，该凸轮和对应的斜齿轮共同连接在一根支撑杆上，两个斜齿轮之间传动连接有一个圆柱齿轮，圆柱齿轮套设在支撑柱的外周，支撑柱的内部设有一个旋转接头，且旋转接头的内壁设有桨叶，圆柱齿轮套设在旋转接头的外周；

所述机壳的内部还设有一个反应平台，反应平台的上下两侧均设有一个加热器；

其中，导入气体的时候，通过气罐内部的气泵就会控制气体导入到两根导管中，随后气体从喷气管喷入到机壳中，同时，气体通过旋转接头的时候，由于桨叶的作用，旋转接头转动，紧接着旋转接头带动圆柱齿轮转动，圆柱齿轮就能够带动两侧的斜齿轮同步转动，斜齿轮就会通过对应的凸轮来控制平板上下移动，平板在上下移动的过程中，就能够通过升降杆实现了喷气管的上下摆动，使得气体进入到机壳中的时候，能够均匀导入，提高了装置的实用性。

所述机壳上还设有中控部件，中控部件包括壳体，壳体的内部设有蓄电池，蓄电池电连接有充电电路，充电电路包括稳压三极管、运放、第一电阻、第二电阻、第三电阻、第四电阻、第五电阻、第六电阻、第七电阻、二极管、开关、发光二极管、第一电容、第二电容和第三电容，稳压三极管的型号为LM305，稳压三极管的输入端通过第一电阻与稳压三极管的输出端连接，稳压三极管的输出端通过第二电容接地，且通过第七电阻与运放的第二端连接，且与发光二极管的阳极连接，且通过第四电阻、第五电阻和第六电阻组成的串联电路分别与三极管的基极和二极管的阳极连接，稳压三极管的接地端通过第二电阻和第一电容组成的并联电路接地，且分别与第五电阻和第六电阻连接，三极管的集电极接地，三极管的发射极通过第三电阻与发光二极管的阴极连接，运放的第六端与二极管的阴极连接，运放的第一端通过第三电容与运放的第八端连接，且通过开关接地，运放的第四端接地，运放的第七端与稳压三极管的输出端连接，运放的第三端分别与第四电阻和第五电阻连接。