[实用新型]一种晶体生长用承重装置有效

专利信息
申请号: 201820408004.7 申请日: 2018-03-26
公开(公告)号: CN208183108U 公开(公告)日: 2018-12-04
发明(设计)人: 翟海峰 申请(专利权)人: 福州克雷斯试验设备有限公司
主分类号: C30B11/00 分类号: C30B11/00;C30B29/06
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 350000 福建省福州市闽侯县*** 国省代码: 福建;35
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摘要:
搜索关键词: 固定板 侧壁 承重装置 晶体生长 容纳槽 容纳腔 本实用新型 搅拌杆 螺纹杆 转动杆 坩埚 电机 晶体生长技术 晶体材料 放置槽 晶体的 冷却液 上端面 上螺纹 输出轴 多块 竖杆 溶解 穿过 生长
【说明书】:

实用新型属于晶体生长技术领域,具体为一种晶体生长用承重装置,包括固定板,所述固定板的上端面设有容纳槽,所述容纳槽的侧壁上设有放置槽,且容纳槽内放置有冷却液,所述固定板内设有容纳腔,所述容纳腔的侧壁上固定连接有电机,所述电机的输出轴穿过容纳腔的侧壁并固定连接两根搅拌杆,所述搅拌杆的侧壁上固定连接有多块竖杆,所述固定板上螺纹连接有第一螺纹杆,所述第一螺纹杆的一端固定连接有转动杆,且转动杆位于固定板的下侧,本实用新型不仅能够便于调节坩埚的高度,而且能够快速将坩埚进行降温,不仅利于晶体材料的溶解,也加快了晶体的生长速度,因此这种晶体生长用承重装置值得推广。

技术领域

本实用新型属于晶体生长技术领域,具体为一种晶体生长用承重装置。

背景技术

在多晶硅、单晶硅或蓝宝石等晶体材料生长过程中,其中多晶硅碎料在坩埚中生长成为多晶硅锭以及多晶硅转换为单晶硅时,通过对坩埚的加热温度控制,并利用设置在坩埚底部的籽晶,使融化并围绕籽晶新生长的晶体按照籽晶的晶粒排列方式进行排列,然而现有的坩埚底部承重板一般作用较为单一,无法调节坩埚与炉内的距离,这样不仅会影响晶体材料的溶解,且在晶体生长时,由于温度与高度固定,不利于晶体的生长。

所以,提供一种能够解决承重板一般作用较为单一,无法调节坩埚与炉内的距离问题的晶体生长用承重装置成为我们要解决的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶体生长用承重装置,以解决上述背景技术中提出承重板一般作用较为单一,无法调节坩埚与炉内的距离问题。

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:

一种晶体生长用承重装置,包括固定板,所述固定板的上端面设有容纳槽,所述容纳槽的侧壁上设有放置槽,且容纳槽内放置有冷却液,所述固定板内设有容纳腔,所述容纳腔的侧壁上固定连接有电机,所述电机的输出轴穿过容纳腔的侧壁并固定连接两根搅拌杆,所述搅拌杆的侧壁上固定连接有多块竖杆,所述固定板上螺纹连接有第一螺纹杆,所述第一螺纹杆的一端固定连接有转动杆,且转动杆位于固定板的下侧,所述第一螺纹杆的另一端转动连接有凸形载物板,且凸形载物板凸出部分与放置槽相配合,所述固定板的上表面固定连接有多个竖板,所述凸形载物板滑动连接在竖板的侧壁上,所述凸形载物板设有容物槽,所述容物槽内放置有坩埚,所述凸形载物板的上表面固定连接有挡板,所述挡板与坩埚相接触,所述凸形载物板内设有空腔,所述空腔的侧壁上转动连接有第二螺纹杆,所述第二螺纹杆上螺纹连接有滑动板,所述滑动板的两端均滑动连接在空腔的侧壁上,所述滑动板的一端贯穿空腔的侧壁并固定连接有L形压紧板,所述L形压紧板滑动连接在凸形载物板的上表面,且L形压紧板与坩埚的侧壁相接触;所述第二螺纹杆上固定连接有第一锥齿轮,所述第一锥齿轮啮合有第二锥齿轮,所述第二锥齿轮上固定连接有转动轴,所述转动轴的一端穿过空腔的侧壁并固定连接有旋钮,所述旋钮位于凸形载物板的外侧。

作为优选,所述转动杆的侧壁上均布有凸起,所述凸起的横截面为三角形。

作为优选,所述竖板的侧壁上设有滑槽,所述凸形载物板上固定连接有滑块,所述滑块滑动连接在滑槽内。

作为优选,所述空腔的侧壁上设有限位槽,所述第二螺纹杆转动连接在限位槽内。

作为优选,所述凸形载物板的上表面设有条形通孔,所述滑动板的一端穿过条形通孔并固定连接在L形压紧板上。

作为优选,所述旋钮的侧壁上均布有条形齿,所述条形齿的纵截面为梯形。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:通过在凸形载物板上设置第一螺纹杆,便于凸形载物板的上下移动,通过在坩埚的一侧设置L形压紧板,便于将坩埚压紧固定,通过在凸形载物板的下侧设置冷却液,便于坩埚底部降温,通过在冷却液中设置搅拌杆,便于冷却液保持恒温;这种晶体生长用承重装置不仅能够便于调节坩埚的高度,而且能够快速将坩埚进行降温,不仅利于晶体材料的溶解,也加快了晶体的生长速度,因此这种晶体生长用承重装置值得推广。

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