[实用新型]一种化学气相沉积炉的基体支撑装置及基体旋转驱动装置

权利要求书

1.一种化学气相沉积炉的基体支撑装置，其特征在于，包括支撑架、若干个沿着圆周方向设在支撑架上的滚动槽以及设在每个滚动槽中用于支撑基体的滚球，所述支撑架上设有用于限制基体离心甩出的挡块。

2.根据权利要求1所述的化学气相沉积炉的基体支撑装置，其特征在于，所述支撑架包括支撑块和位于支撑块下方的连接板，所述滚动槽设置在支撑块的顶端，所述挡块固定连接在支撑块上远离基体的一端。

3.根据权利要求2所述的化学气相沉积炉的基体支撑装置，其特征在于，所述支撑块为三个，且沿着圆周方向等距排布。

4.根据权利要求1或3所述的化学气相沉积炉的基体支撑装置，其特征在于，所述挡块中与基体边缘接触的部位为圆弧面。

5.根据权利要求4所述的化学气相沉积炉的基体支撑装置，其特征在于，所述挡块上位于圆弧面两侧设有与圆弧面相连的倾斜面。

6.根据权利要求5所述的化学气相沉积炉的基体支撑装置，其特征在于，所述倾斜面与圆弧面相切。

7.根据权利要求2所述的化学气相沉积炉的基体支撑装置，其特征在于，所述连接板的一端延伸到支撑块的下方，另一端固定在自转驱动机构上；所述连接板上设有将支撑块固定在连接板上的锁紧组件。

8.根据权利要求7所述的化学气相沉积炉的基体支撑装置，其特征在于，所述锁紧组件包括位于连接板两侧的呈“L”形结构的锁紧块和固定连接杆，所述锁紧块包括第一锁紧块和第二锁紧块，所述第一锁紧块设置在连接板靠近支撑块的一侧，所述第二锁紧块设置在连接板的另一侧；所述第一锁紧块和第二锁紧块均包括水平部和竖直部，所述第一锁紧块的水平部位于连接板的下方，所述第二锁紧块的水平部位于连接板的上方；所述固定连接杆的一端穿过第一锁紧块的竖直部、支撑块的下端固定连接到第二锁紧块的水平部上。

9.根据权利要求8所述的化学气相沉积炉的基体支撑装置，其特征在于，所述第二锁紧块的水平部上设有螺纹孔；所述固定连接杆为螺栓结构，其设有外螺纹的一端固定连接到第二锁紧块的水平部的螺纹孔中。

10.一种化学气相沉积炉的基体旋转驱动装置，其特征在于，包括转盘、驱动转盘转动的转盘驱动机构以及若干个权利要求1-9任一项所述的化学气相沉积炉的基体支撑装置，其中，所述若干个基体支撑装置环绕着转盘的转动中心设置在转盘上，且通过转动连接结构连接在转盘上，所述转盘的转动中心构成公转中心，支撑架与转盘之间的转动结构的中心构成自转中心；所述转盘上设有驱动支撑架绕着自转中心转动的自转驱动机构。