[实用新型]一种固体蜡贴片机压片装置有效
申请号: | 201820232460.0 | 申请日: | 2018-02-09 |
公开(公告)号: | CN207800567U | 公开(公告)日: | 2018-08-31 |
发明(设计)人: | 寇明虎;郝元龙;吴鲲;吴实 | 申请(专利权)人: | 北京特思迪设备制造有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
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地址: | 101300 北京市顺义区顺*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 压头 冷却盘 冷却结构 冷却水接头 连接板 压片板 压盘 循环冷却水槽 导向机构 压片装置 固体蜡 连接端 贴片机 运行板 支撑盘 气缸 有压 加热 本实用新型 连接板中部 出水接头 顶部设置 进水接头 连接螺栓 内部设置 连接杆 片板 连通 穿过 | ||
1.一种固体蜡贴片机压片装置,其特征在于:该装置包括压盘冷却结构和支撑盘加热冷却结构;所述压盘冷却结构设置在所述支撑盘加热冷却结构上部;
所述压盘冷却结构包括压头冷却盘、第一冷却水接头、压头、压片板连接板、连接螺栓、气缸运行板、连接杆和导向机构;所述压头冷却盘内部设置有循环冷却水槽,所述压头冷却盘上设置有两个与所述循环冷却水槽连通的所述第一冷却水接头,一个所述第一冷却水接头作为进水接头,另一个所述第一冷却水接头作为出水接头;所述压头冷却盘底部设置有所述压头,所述压头冷却盘顶部设置有所述压片板连接板,所述压头通过所述连接螺栓依次与所述压头冷却盘和压片板连接板连接;所述压片板连接板中部设置有连接端,所述压片板连接板的连接端穿过所述气缸运行板中部后与所述导向机构连接,所述气缸运行板通过所述连接杆与所述导向机构连接。
2.如权利要求1所述的一种固体蜡贴片机压片装置,其特征在于:所述导向机构包括直线轴承、气缸支撑板、导向杆连接块和气缸;所述直线轴承设置在所述连接杆上,所述连接杆一端与所述气缸运行板连接,所述连接杆另一端穿过所述气缸支撑板;在所述气缸支撑板上方,位于同一侧的两所述连接杆顶部通过所述导向杆连接块连接;位于所述气缸支撑板中部设置有气缸,所述气缸的输出端与所述压片板连接板的连接端连接;所述气缸支撑板底部与所述支撑盘加热冷却结构连接。
3.如权利要求2所述的一种固体蜡贴片机压片装置,其特征在于:位于所述气缸支撑板一侧设置有一通孔,所述通孔侧壁上设置有保护链支架,位于所述压头冷却盘侧壁也设置有所述保护链支架,两所述保护链支架位于同侧;保护链一端经所述保护链支架连接在所述气缸支撑板上,另一端经所述保护链支架连接在所述压头冷却盘侧部。
4.如权利要求1所述的一种固体蜡贴片机压片装置,其特征在于:所述连接杆上设置有浮动接头。
5.如权利要求1所述的一种固体蜡贴片机压片装置,其特征在于:所述压头冷却盘与所述压头之间设置有O型圈。
6.如权利要求2所述的一种固体蜡贴片机压片装置,其特征在于:所述支撑盘加热冷却结构包括压头底板、压头支撑、支撑盘支撑柱、支撑盘冷却盘和支撑盘加热盘;所述压头底板通过所述压头支撑与所述气缸支撑板底部连接,所述压头底板中部通过所述支撑盘支撑柱与所述支撑盘冷却盘连接;所述支撑盘冷却盘上部设置有所述支撑盘加热盘。
7.如权利要求6所述的一种固体蜡贴片机压片装置,其特征在于:在所述支撑盘加热盘内设置有加热器和温度传感器。
8.如权利要求6所述的一种固体蜡贴片机压片装置,其特征在于:在所述支撑盘加热盘与所述支撑盘冷却盘之间设置有O型圈。
9.如权利要求6所述的一种固体蜡贴片机压片装置,其特征在于:所述气缸支撑板与所述压头底板之间设置有穿线管。
10.如权利要求6所述的一种固体蜡贴片机压片装置,其特征在于:所述支撑盘冷却盘内部设置有另一循环冷却水槽,在所述支撑盘冷却盘上设置有两个与所述另一循环冷却水槽连通的第二冷却水接头,一个所述第二冷却水接头作为进水接头,另一个所述第二冷却水接头作为出水接头。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造