[实用新型]一种新型固态射频电源系统

说明书

本实用新型公开了一种新型固态射频电源系统，包括：信号源模块、功率放大器模块、负载模块、检测反馈模块；所述信号源模块联结所述功率放大器模块，所述功率放大器模块联结所述负载模块，所述检测反馈模块获取所述负载模块的输入射频信号及所述负载模块的输出射频信号，所述检测反馈模块的输出端联结信号源模块；通过反馈调节所述信号源模块的频率从而改变所述功率放大模块的输出的射频信号，最终达到负载阻抗匹配，该实用新型具有高效率的阻抗匹配性能，且硬件成本低。

技术领域

本实用新型属于射频电源领域，尤其涉及一种新型固态射频电源系统。

背景技术

目前市场上电感耦合等离子体发射光谱仪通用的固态射频电源系统是由固定频率的功率放大器和阻抗匹配箱组成，这种电源系统的阻抗匹配速度慢，且硬件成本高，其采用机械转动两个真空电容以实现与负载的阻抗匹配，由于机械转动的灵活性差，造成其阻抗匹配的效率及效果均达不到预期效果；因此需要寻找一种能够解决此问题的新型固态射频电源系统。

发明内容

有鉴于此，需要克服现有技术中的上述缺陷中的至少一个，本实用新型提供了一种新型固态射频电源系统，可以有效的解决相关问题，其包括：

信号源模块、功率放大器模块、负载模块、检测反馈模块；

所述信号源模块联结所述功率放大器模块，所述功率放大器模块联结所述负载模块，所述检测反馈模块获取所述负载模块的输入射频信号及所述负载模块的输出射频信号，所述检测反馈模块的输出端联结信号源模块；

所述信号源模块包括压控振荡器组件，根据获取的反馈信号压控振荡器调节振荡频率，从而调节功率放大器模块的工作频率；

所述检测反馈模块包括检测信号输入单元、信号处理单元及直流电压信号输出单元。

进一步地，所述直流电压信号输出单元联结所述压控振荡器组件调节所述信号源模块的振荡频率。

进一步地，所述功率放大器模块采用丙类谐振放大器结构。

进一步地，所述负载模块为LC谐振网络。

进一步地，所述检测信号输入单元获取的检测信号包括所述功率放大器模块输入到所述负载模块的射频输入信号及通过负载后的所述负载模块的射频输出信号。

进一步地，所述信号处理单元包括带通滤波处理组件及比较组件，所述比较组件包括鉴相器组件和幅度比较组件。

进一步地，所述直流电压信号输出单元包括用于输出直流电压至所述信号源模块的差值转直流电压组件。

本实用新型附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从下面结合附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1是新型固态射频电源系统的结构原理图；

图2是信号源模块的电路原理图；

图3是功率放大模块的电路原理图；

图4是负载模块的电路原理图；

图5是检测反馈模块的结构原理图；

图6是检测反馈模块的电路原理图。

图1中，1是信号源模块，2是功率放大器模块，3是负载模块，4是检测反馈模块；

图5中，5是检测信号输入单元,6是信号处理单元，7是直流电压信号输出单元。

具体实施方式