[实用新型]一种管式PECVD的反应腔炉口炉门结构

说明书

本实用新型公开了一种管式PECVD的反应腔炉口炉门结构，涉及太阳能电池设备技术领域；包括反应腔和炉门，所述的反应腔具有用于容纳石墨舟的内腔以及与内腔相连通炉口，该炉口的顶部设置有一遮挡部位，该遮挡部位用于减小反应腔内的热量流失；所述的炉门盖在炉口处，且炉口朝向炉门的面上设置有环形的凹槽，该环形的凹腔设置有密封圈，所述的炉门压紧在密封圈上，将反应腔的炉口密封；本实用新型的有益效果是：能够减缓在炉门打开后反应腔内的热量流失，避免对反应腔的温度造成影响，节省了石墨舟放入反应腔内加热的时间，从而降低了能耗，提高了生产效率。

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池设备技术领域，更具体的说，本实用新型涉及一种管式PECVD的反应腔炉口炉门结构。

背景技术

PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)等离子体增强化学气象沉积是利用低温等离子体做能量源，硅片置于低气压下辉光放电的阴极上，利用辉光放电(或另加发热体)使硅片升温到预定的温度，然后通入适量的反应气体，气体经一秕化学和等离子体反应，在硅片上形成固态薄膜。

随着PECVD设备技术的发展，降成本、大产能的要求越来越高，单管的产能也越来越大，相应的真空反应管的直径也越来越大，相应的石墨舟进出的炉门也越来越大。在常见的反应腔中，炉口开口方式是圆形开口，导致反应腔直径有多大，则炉口法兰开口基本就有多大，当炉门打开时，反应腔中的热量就会大量外涌。

实用新型内容

为了克服现有技术的不足，本实用新型提供一种管式PECVD的反应腔炉口炉门结构，该管式PECVD的反应腔炉口炉门结构提高了反应腔的空间利用率和热能的利用率，达到降低能耗，提高生产效率的目的。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种管式PECVD的反应腔炉口炉门结构，其改进之处在于：包括反应腔和炉门，所述的反应腔具有用于容纳石墨舟的内腔以及与内腔相连通炉口，该炉口的顶部设置有一遮挡部位，该遮挡部位用于减小反应腔内的热量流失；

所述的炉门盖在炉口处，且炉口朝向炉门的面上设置有环形的凹槽，该环形的凹腔设置有密封圈，所述的炉门压紧在密封圈上，将反应腔的炉口密封。

在上述的结构中，所述的反应腔呈圆柱状，所述炉口朝向炉门的面呈圆形；所述的炉口包括一圆弧边以及连接于圆弧边两端的直线边。

在上述的结构中，所述的反应腔具有与之相连接的前支撑板，且前支撑板与反应腔之间设置有保温环；

所述前支撑板的另一侧设置有进气法兰，所述的炉口设置在进气法兰上。

在上述的结构中，所述的炉门上活动连接有一炉门支撑板，炉门支撑板与炉门之间设置有波纹管和调节螺杆，且所述调节螺杆的一端转动安装在炉门上，调节螺杆的另一端与炉门支撑板螺纹连接。

本实用新型的有益效果是：在炉口打开，将石墨舟放入反应腔内，或者将石墨舟从反应腔内取出时，由于反应腔的温度较高，通过遮挡部位的结构设计，能够减缓在炉门打开后反应腔内的热量流失，避免对反应腔的温度造成影响，节省了石墨舟放入反应腔内加热的时间，从而降低了能耗，提高了生产效率。

附图说明

图1为本实用新型的一种管式PECVD的反应腔炉口炉门结构的立体结构示意图。

图2为本实用新型的一种管式PECVD的反应腔炉口炉门结构的炉口的结构示意图。

图3为本实用新型的一种管式PECVD的反应腔炉口炉门结构的具体实施例图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。