[实用新型]一种红外光学盲元结构

说明书

本实用新型提供了一种红外光学盲元结构，属于红外探测技术领域。包括衬底，探测器像元，真空悬置在所述衬底的上方；所述探测器像元的数量为若干个，所述探测器像元通过立柱与所述衬底连接；红外光学阻挡结构，真空悬置在所述探测器像元的上方，并通过支撑柱与所述衬底连接，以避免所述探测器像元吸收到外界的红外热辐射；所述红外光学阻挡结构包括钝化层和红外辐射反射金属层；其中，所述红外光学阻挡结构与所述衬底构成中空部的盒状结构，所述探测器像元悬浮在中空部内；所述红外光学阻挡结构与探测器像元之间存在真空间隙；所述红外光学阻挡结构设置有若干个释放通道。以满足探测器电路除电阻阻值之外的进一步要求。

技术领域

本实用新型涉及红外探测技术领域，特别是涉及一种红外光学盲元结构。

背景技术

红外盲元结构用作探测器电路不可或缺的结构，其作用为：1、抵消探测器像元直流偏置电流，使得放大器积分的是像元对外界红外辐射敏感引发的那部分电流；2、衬底温度补偿结构；3、抵消探测器像元的自热效应等。

现有的红外盲元结构其主要由衬底、红外探测器像元、红外光学阻挡结构、牺牲层填充材料组成。其红外光学阻挡结构直接覆盖在红外探测器像元上。在理想情况下，红外盲元结构不吸收红外辐射，其结构上与探测器像元结构相同，其性能参数热响应时间常数、热导、热容、电阻阻值也相同。但是，现有的红外盲元结构仅仅可以满足与探测器像元的电阻阻值相等，而不能满足探测器电路的进一步要求。

实用新型内容

本实用新型的一个目的是针对红外探测器的传统盲元结构缺陷问题，提供一种新型的红外光学盲元结构。

特别地，本实用新型提供了一种红外光学盲元结构，包括：

衬底，

探测器像元，真空悬置在所述衬底的上方；所述探测器像元的数量为若干个，所述探测器像元通过立柱与所述衬底连接；

红外光学阻挡结构，真空悬置在所述探测器像元的上方，并通过支撑柱与所述衬底连接，以避免所述探测器像元吸收到外界的红外热辐射；所述红外光学阻挡结构包括钝化层和红外辐射反射金属层；

其中，所述红外光学阻挡结构与所述衬底构成中空部的盒状结构，所述探测器像元悬浮在中空部内；所述红外光学阻挡结构与探测器像元之间存在真空间隙；所述红外光学阻挡结构设置有若干个释放通道。

可选地，所述衬底为硅衬底、玻璃衬底或者SiC衬底。

可选地，所述探测器像元为红外探测器像元。

可选地，所述红外探测器像元感应红外辐射波段为0.8~15µm。

可选地，所述钝化层材料为氮化硅或氧化硅。

可选地，所述红外辐射反射金属层材料为Ti、Al、Ti/Al、Ti/Pt/Au、Ti/Ni/Au、NiCr中的任意一种。

可选地，所述探测器像元均匀分布在所述衬底上。

可选地，所述释放通道分别设置在所述探测器像元间并远离所述探测器像元的红外光学阻挡结构上。

本实用新型提供的一种红外光学盲元结构，包括衬底、探测器像元、红外光学阻挡结构。衬底上布置有红外探测器像元，像元真空悬置在衬底上方；光学阻挡结构真空悬置在像元上方，避免衬底上的探测器像元吸收到外界的红外热辐射，从而将该类像元变成红外光学盲元结构，以满足探测器电路除电阻阻值之外的进一步要求。

附图说明

后文将参照附图以示例性而非限制性的方式详细描述本实用新型的一些具体实施例。附图中相同的附图标记标示了相同或类似的部件或部分。本领域技术人员应该理解，这些附图未必是按比例绘制的。附图中：

图1是根据本实用新型一个实施例的红外光学盲元结构的结构示意图；