[实用新型]一种用于湿法刻蚀的挤水滚轮

说明书

本实用新型涉及一种挤水滚轮，提供了一种结构简单，可在生产过程中有效保护硅片表面，降低EL不良比例，并节约生产成本的用于湿法刻蚀的挤水滚轮，解决了现有技术中存在的在生产过程中挤水滚轮易磨损，生产成本高，且硅片表面易污染，成品不良品较多等的技术问题，它包括传动轮组及横设于传动轮组上方的支撑轴，在所述支撑轴上套装有光面挤压套筒，且光面挤压套筒的中孔与支撑轴间设有第一间隙，在传动轮组与对应的光面挤压套筒间夹持有硅片，硅片在传动轮组的带动下朝向输出侧移动。

技术领域

本实用新型涉及一种挤水滚轮，尤其涉及一种可在生产过程中有效保护硅片表面，降低EL不良比例，保证硅片品质的用于湿法刻蚀的挤水滚轮。

背景技术

在太阳能电池片的生产过程中，湿法刻蚀效果决定了太阳能电池的腐蚀效果和清洗效果，且对制程的管控造成严重影响。硅片进行湿法刻蚀时，在输送到各槽体的过程中，硅片是通过上方的挤水滚轮和下方的传动机构夹持着向前行进，其中挤水滚轮固定在传动机构上方的支撑轴上，主要作用是将上个槽体残留在硅片表面的溶液导入下一个槽体，同时去除硅片表面杂质。但过程中存在以下缺陷：挤水滚轮通过海绵套触压在硅片上，海绵套易磨损，维护更换周期短，使用成本高；海绵套极易吸附杂质，接触硅片后容易污染硅片，EL测试后不良品较多；挤水滚轮重量大，易造成堵片或者叠片等异常情况。

发明内容

本实用新型主要是提供了一种结构简单，可在生产过程中有效保护硅片表面，降低EL不良比例，并节约生产成本的用于湿法刻蚀的挤水滚轮，解决了现有技术中存在的在生产过程中挤水滚轮易磨损，生产成本高，且硅片表面易污染，成品不良品较多等的技术问题。

本实用新型的上述技术问题主要是通过下述技术方案得以解决的：一种用于湿法刻蚀的挤水滚轮，包括传动轮组及横设于传动轮组上方的支撑轴，在所述支撑轴上套装有光面挤压套筒，且光面挤压套筒的中孔与支撑轴间设有第一间隙，在传动轮组与对应的光面挤压套筒间夹持有硅片，硅片在传动轮组的带动下朝向输出侧移动。通过在支撑轴上套装光面挤压套筒，由于光面挤压套筒的中孔与支撑轴间带有间隙，即光面挤压套筒吊装在支撑轴上，使用过程中，光面挤压套筒即通过支撑轴定位，通过自身的重量对硅片进行挤压，因此事先根据硅片性能设定好光面挤压套筒的重量即可，同时由于采用光面挤压套筒，即与硅片接触的挤压套筒外环面为粗糙度较小的光滑表面，耐磨性好，不易吸附杂质，因此过程中有效的保护了硅片表面，降低了EL不良比例，同时维修更换率降低，节约了生产成本。

作为优选，与所述光面挤压套筒两端对应的支撑轴上设有定位套，与定位套对应的光面挤压套筒端面上设有沉孔，定位套位于沉孔内，且定位套的外环面与对应的沉孔内环面间设有第二间隙。通过在光面挤压套筒两端对应的支撑轴上设置定位套，光面挤压套筒端面上设置沉孔，即可通过定位套限定光面挤压套筒的左右位置，定位套外环面与沉孔内环面间的第二间隙，确保光面挤压套筒在垂直方向保持自由度。

作为更优选，所述第二间隙小于等于第一间隙。第二间隙小于等于第一间隙时，使光面挤压套筒的两端支撑在定位套上，减小了光面挤压套筒的滚动摩擦。

作为优选，所述光面挤压套筒外环面的粗糙度为200至400μm。光滑的光面挤压套筒外环面减少了其表面吸附杂质量。

作为优选，所述光面挤压套筒为聚偏氟乙烯材料。聚偏氟乙烯材料的光面挤压套筒耐腐蚀和耐磨等性能好，使用寿命长。

因此，本实用新型一种用于湿法刻蚀的挤水滚轮具有下述优点：通过在支撑轴上套装光面挤压套筒，由于光面挤压套筒的中孔与支撑轴间带有间隙，使用过程中，光面挤压套筒即通过自身的重量对硅片进行挤压，由于光面挤压套筒粗糙度较小，不易吸附杂质，从而有效的保护了硅片表面，降低了EL不良比例，同时维修更换率降低，节约了生产成本；聚偏氟乙烯材料的光面挤压套筒耐腐蚀和耐磨等性能好，使用寿命长。

附图说明：

图1是本实用新型一种用于湿法刻蚀的挤水滚轮的结构示意图。