[实用新型]真空镀膜机冷却装置有效
| 申请号: | 201820146520.7 | 申请日: | 2018-01-29 |
| 公开(公告)号: | CN207793406U | 公开(公告)日: | 2018-08-31 |
| 发明(设计)人: | 黄启泰;倪颖;任建锋;王毅 | 申请(专利权)人: | 苏州六三二八光电科技有限公司 |
| 主分类号: | C23C14/22 | 分类号: | C23C14/22;C23C16/44 |
| 代理公司: | 南京常青藤知识产权代理有限公司 32286 | 代理人: | 黄胡生 |
| 地址: | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 真空镀膜 管壳 内壁 真空镀膜机 制冷水箱 喷水口 本实用新型 回收水箱 冷却装置 出水口 容纳腔 侧壁 外壁 连通 出水管连通 并列设置 冷却效果 进水管 | ||
本实用新型提供真空镀膜机冷却装置,具体涉及真空镀膜机技术领域,包括真空镀膜仓和制冷水箱以及回收水箱,所述真空镀膜仓的侧壁包括内壁和外壁,所述内壁和所述外壁之间形成容纳腔,所述真空镀膜仓的两侧的所述内壁均并列设置多个管壳,所述管壳的一端与所述制冷水箱的出水管连通,另一端与所述制冷水箱的进水管连通,所述内壁设有多个喷水口,所述喷水口与所述管壳连通,所述容纳腔的一端设有第一出水口,所述第一出水口与所述回收水箱相连。本实用新型设有管壳和喷水口对真空镀膜仓内部和真空镀膜仓的侧壁同时进行降温,从而达到冷却效果。
技术领域
本实用新型属于真空镀膜机技术领域,具体涉及一种真空镀膜机冷却装置。
背景技术
真空镀膜机在工作的时候会产生大量的热量,需要及时有效的进行冷却,以确保其正常工作,目前常见的冷却装置为在真空镀膜机腔体外侧表面焊接圆管,在圆管内通冷却水来冷却,这种结构,冷却水不与真空镀膜机腔体直接接触,冷却速度慢,冷却不及时,很容易导致真空镀膜机因为温度过高而损坏。
因此急需一种能够解决以上问题的真空镀膜机冷却装置。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种真空镀膜机冷却装置,设有管壳和喷水口对真空镀膜仓内部和真空镀膜仓的侧壁同时进行降温,从而达到冷却效果。
本实用新型提供了如下的技术方案:
一种真空镀膜机冷却装置,包括真空镀膜仓和制冷水箱以及回收水箱,所述真空镀膜仓的侧壁包括内壁和外壁,所述内壁和所述外壁之间形成容纳腔,所述真空镀膜仓的两侧的所述内壁均并列设置多个管壳,所述管壳的一端与所述制冷水箱的出水管连通,另一端与所述制冷水箱的进水管连通,所述内壁设有多个喷水口,所述喷水口与所述管壳连通,所述容纳腔的一端设有第一出水口,所述第一出水口与所述回收水箱相连。通过冷却水给所述真空镀膜仓内降温,因为热量主要来自于所述真空镀膜仓的镀膜区,所以通入所述管壳内的冷水可以带走大量热量,同时,所述管壳内的冷水通过所述喷水口进入所述容纳腔内,给所述真空镀膜仓的侧壁直接进行喷水冷却进一步降温,从而达到冷却的效果。
优选的,与所述管壳连接的所述制冷水箱的出水管设有高压水泵,所述喷水口为高压喷水头。可以水直接喷到所述容纳腔的内壁上。
优选的,所述容纳腔的底部倾斜设置,所述容纳腔底部的低端设有所述第一出水口。避免所述容纳腔内积水,如果积水过多,变热的冷水不排出,即使进入新的冷水也会大大降低降温的效果。
优选的,所述回收水箱设有进水口和第二出水口,所述进水口与所述第一出水口相连通,所述进水口设有过滤网,所述第二出水口与所述制冷水箱的进水管连通。所述过滤网可以滤掉所述容纳腔内的回收的水的杂质(例如容纳腔的内壁上的残渣碎屑),然后再被重新利用。
优选的,所述制冷水箱的出水管设有电磁阀,所述真空镀膜仓内设有温度传感器,所述温度传感器与所述电磁阀电连接。通过所述温度传感器可以检测到所述真空镀膜仓内的温度,从而控制所述电磁阀的开口大小,控制流入的冷水的多少,从而在达到降温的同时,节约冷水的使用量。
优选的,所述管壳沿所述容纳腔的长度方向设置,所述第一出水口靠近与所述制冷水箱的进水管相连的所述管壳的一端和所述第一出水口。
本实用新型的有益效果是:通过冷却水给所述真空镀膜仓内降温,因为热量主要来自于所述真空镀膜仓的镀膜区,所以通入所述管壳内的冷水可以带走大量热量,同时,所述管壳内的冷水通过所述喷水口进入所述容纳腔内,给所述真空镀膜仓的侧壁直接进行喷水冷却进一步降温,从而达到冷却的效果。
附图说明
附图用来提供对本实用新型的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型,并不构成对本实用新型的限制。在附图中:
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