[实用新型]一种镝铽扩渗炉上的新型充放气结构有效

专利信息
申请号: 201820095757.7 申请日: 2018-01-21
公开(公告)号: CN207831943U 公开(公告)日: 2018-09-07
发明(设计)人: 刘洋 申请(专利权)人: 青岛精诚华旗微电子设备有限公司
主分类号: F27D7/02 分类号: F27D7/02;F27D7/00;F27D19/00;H01F41/02;C23C10/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 266000 山东*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 反应腔 充放气 扩渗炉 本实用新型 充气管路 放气管道 放气管路 工艺环境 冷却效率 清洗效果 生产效率 洁净 保证
【说明书】:

实用新型公开了一种镝铽扩渗炉上的新型充放气结构,与镝铽扩渗炉相对应,镝铽扩渗炉内设置有反应腔,反应腔上设置有充放气管路,所述新型充放气管路包括充气管路、放气管路;所述充气管路连接到反应腔管道;所述放气管道连接在反应腔上并安装在反应腔内部。本实用新型设计合理,能够提高气氛清洗效果,大大降低反应腔内杂质含量,并且保证在洁净的工艺环境下提高冷却效率,从而提高生产效率和材料产成品质量,实用性强,适于推广。

技术领域

本实用新型属于镝铽扩渗炉领域,更具体地说,涉及一种镝铽扩渗炉上的新型充放气结构。

背景技术

磁性材料的烧结渗镝工艺过程是在高温状态下进行的,在工艺开始前要对反应腔进行气氛清洗;工艺结束时需要对材料进行冷却处理,冷却处理期间须保证材料不会被氧化。常规气氛清洗时,将清洗气体通入反应腔,但并不完全通过工艺材料,气氛清洗效果不好,会有杂质存留在反应腔内;常规冷却处理时,冷却气体并不完全通过工艺材料,冷却速度慢时间长,导致设备生产效率低。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足,本实用新型的目的在于提供了一种镝铽扩渗炉上的新型充放气结构,设计合理,能够提高气氛清洗效果,大大降低反应腔内杂质含量,并且保证在洁净的工艺环境下提高冷却效率,从而提高生产效率和材料产成品质量,实用性强,适于推广。

为实现上述目的,本实用新型提供了如下技术方案:

一种镝铽扩渗炉上的新型充放气结构,与镝铽扩渗炉相对应,镝铽扩渗炉内设置有反应腔,反应腔上设置有充放气管路,其特征在于:所述新型充放气管路包括充气管路、放气管路;所述充气管路连接到反应腔管道;所述放气管道连接在反应腔上并安装在反应腔内部。

作为一种优化的技术方案,所述充气管路一端连接反应腔,一端通过充气阀连接供气系统;充气阀通过信号控制线连接工控系统。

作为一种优化的技术方案,所述放气管路包括与反应腔出气口连接的接头装置、不锈钢放气管道、放气阀。

作为一种优化的技术方案,所述放气阀一端连接反应腔出气口,另一端通过单向阀连接尾气管道;放气阀通过信号控制线连接工控系统。

作为一种优化的技术方案,所述不锈钢放气管道口位于反应腔顶部,不锈钢放气管道与出气口接头装置相连接并且可拆卸。

作为一种优化的技术方案,所述反应腔上安装压力传感器,通过信号线将反应腔内压力实时反馈到工控系统。

由于采用了上述技术方案,与现有技术相比,本实用新型设计合理,能够提高气氛清洗效果,大大降低反应腔内杂质含量,并且保证在洁净的工艺环境下提高冷却效率,从而提高生产效率和材料产成品质量,实用性强,适于推广。

参照附图和实施例对本实用新型做进一步说明。

附图说明

图1为本实用新型一种实施例的结构示意图。

图2为图1中A区域的放大后的结构示意图。

具体实施方式

实施例

如图1-2所示,一种镝铽扩渗炉上的新型充放气结构,与镝铽扩渗炉相对应,镝铽扩渗炉内设置有反应腔4,反应腔4上设置有充放气管路,其特征在于:所述新型充放气管路包括充气管路、放气管路;所述充气管路连接到反应腔管道;所述放气管道连接在反应腔4上并安装在反应腔4内部。

所述充气管路一端连接反应腔4,一端通过充气阀3连接供气系统;充气阀通过信号控制线连接工控系统7。

所述放气管路包括与反应腔4出气口连接的接头装置8、不锈钢放气管道1、放气阀2。

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