专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]工艺腔室环境稳定性监控方法、半导体工艺设备-CN202011509279.8在审
  • 杨光;钟晨玉 - 北京北方华创微电子装备有限公司
  • 2020-12-18 - 2021-04-13 - H01L21/67
  • 本申请实施例提供了工艺腔室环境稳定性监控方法、半导体工艺设备,该方法包括:基于目标工艺参数的当前参数值和目标工艺参数的历史参数值统计数据,确定是否满足工艺报警条件,其中,目标工艺参数为用于确定工艺腔室环境是否发生变化的工艺参数,目标工艺参数的历史参数值统计数据基于目标工艺参数的多个历史参数值确定;若满足工艺报警条件,则生成指示工艺腔室环境发生变化的报警信息。本申请实施例提供的技术方案可以及时监控到工艺腔室环境发生变化,生成指示工艺腔室环境发生变化的报警信息,以提示工程师进行相关的用于保证工艺腔室环境的稳定性的措施。
  • 工艺环境稳定性监控方法半导体工艺设备
  • [发明专利]一种基于深度强化学习的排产数据处理方法-CN202310432745.4有效
  • 谭喜平;刘文娟;张国兴;阳荣军;唐川 - 湖南维胜科技有限公司
  • 2023-04-21 - 2023-07-07 - G06Q10/0631
  • 本发明涉及数据处理技术领域,提出了一种基于深度强化学习的排产数据处理方法,包括:采集若干历史排产数据;获取若干历史工艺序列并得到若干环境变化模式;获取若干工艺对,根据历史工艺序列获取每个工艺对的第一出现频率并得到前置工艺对,根据前置工艺对中的工艺距离获取必要工艺对,获取每个工艺在每个位置的第二出现频率,得到每个工艺环境适应程度;获取每个工艺环境适应能力;根据各环境变化模式之间的相似性获取若干环境变化组,对环境适应能力进行调整得到分配适应程度本发明旨在获取对不同环境变化下适应性均较好的初始调度方案,以此减小重调度方案的调整代价。
  • 一种基于深度强化学习数据处理方法
  • [发明专利]信息管理和跟踪系统(IMTS)-CN200580005557.3无效
  • 迪尔克·赖因哈德·奥特洛夫 - 凯文迪什动力学有限公司
  • 2005-03-24 - 2007-02-28 - G03F7/20
  • 一种信息管理和跟踪系统,用于管理和跟踪与工艺开发相关的制品数据,制品数据包括与开发实验参数、结果和产品相关的数据。本系统包括数据管理部件和用于保留与工艺设计相关的数据的工艺设计环境。开发跟踪环境保留包括制品的与工艺开发相关的数据。后备注释环境接收工艺数据并将其提供到开发跟踪环境。配置数据管理部件以控制工艺设计环境、开发跟踪环境和后备注释环境,使得在使用中,能够以链接的方式访问从其中接收的和存储在其中的数据,使得在使用中,用户能够从每个环境获得数据并观察其间的链接。
  • 信息管理跟踪系统imts
  • [发明专利]基板处理装置及方法-CN201911140688.2在审
  • 张富蓉 - 细美事有限公司
  • 2019-11-20 - 2020-06-19 - H01L21/67
  • 基板处理装置包括:工艺模块,执行对基板的工艺处理;索引模块,将基板插入至所述工艺模块,并从所述工艺模块抽出完成工艺处理的基板;装载模块,将环境转换为真空环境或常压环境,将基板在真空环境的所述工艺模块与常压环境的所述索引模块之间中转;及控制模块,从所述工艺模块、所述索引模块及所述装载模块接收运行状态,并参照所接收的运行状态,而按单位时间内完成工艺处理的基板数量增加的方向调度所述工艺模块、所述索引模块及所述装载模块的动作。
  • 处理装置方法

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