[实用新型]一种镝铽扩渗炉上的新型充放气结构有效
| 申请号： | 201820095757.7 | 申请日： | 2018-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN207831943U | 公开（公告）日： | 2018-09-07 |
| 发明（设计）人： | 刘洋 | 申请（专利权）人： | 青岛精诚华旗微电子设备有限公司 |
| 主分类号： | F27D7/02 | 分类号： | F27D7/02;F27D7/00;F27D19/00;H01F41/02;C23C10/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266000 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 反应腔 充放气 扩渗炉 本实用新型 充气管路 放气管道 放气管路 工艺环境 冷却效率 清洗效果 生产效率 洁净 保证 | ||
【权利要求书】：
1.一种镝铽扩渗炉上的新型充放气结构，与镝铽扩渗炉相对应，镝铽扩渗炉内设置有反应腔，反应腔上设置有充放气管路，其特征在于：所述新型充放气管路包括充气管路、放气管路；所述充气管路连接到反应腔管道；所述放气管道连接在反应腔上并安装在反应腔内部。
2.根据权利要求1所述的一种镝铽扩渗炉上的新型充放气结构，其特征在于：所述充气管路一端连接反应腔，一端通过充气阀连接供气系统；充气阀通过信号控制线连接工控系统。
3.根据权利要求1所述的一种镝铽扩渗炉上的新型充放气结构，其特征在于：所述放气管路包括与反应腔出气口连接的接头装置、不锈钢放气管道、放气阀。
4.根据权利要求3所述的一种镝铽扩渗炉上的新型充放气结构，其特征在于：所述放气阀一端连接反应腔出气口，另一端通过单向阀连接尾气管道；放气阀通过信号控制线连接工控系统。
5.根据权利要求3所述的一种镝铽扩渗炉上的新型充放气结构，其特征在于：所述不锈钢放气管道口位于反应腔顶部，不锈钢放气管道与出气口接头装置相连接并且可拆卸。
6.根据权利要求1所述的一种镝铽扩渗炉上的新型充放气结构，其特征在于：所述反应腔上安装压力传感器，通过信号线将反应腔内压力实时反馈到工控系统。
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