[实用新型]一种镀膜载具

说明书

本实用新型公开了一种镀膜载具，其包括固定板、固定组件及滑动组件；所述固定板设有两个；所述固定组件的两端固定在两个固定板上，固定组件上设有至少一个齿槽，待镀膜物体插入齿槽中。所述滑动组件与固定组件相对运动，推挤固定组件齿槽内的待镀膜物体，滑动组件与固定组件的齿槽共同固定待镀膜物体。本实用新型的技术方案结构简单、能够同时实现单面镀膜、双面镀膜、侧面镀膜以及能够实现批量镀膜的机构。

技术领域

本实用新型为光伏自动化设备的技术领域，具体涉及可大批量夹持镀膜载片的镀膜载具。

背景技术

太阳能电池发电是解决能源问题和环境问题的一个重要途径。现在大多数的太阳能电池是由晶体硅材料做成的，而镀膜是制造高效硅电池片的重要步骤之一，通常采用的方法是PECVD镀三氧化二铝。由于市场需求不一，对于硅片电池的单双面进行可选性镀膜就被提出来。现有批量式ALD一般只能适应硅片的双面镀工艺，无法做单面镀工艺。申请号CN201010294787.9中所述在PECVD上下同时镀膜设备的石墨上同时放置上下叠加的两张硅片，虽然能减少绕镀，但机构不能实现大批量镀膜，效率太低。

另外，在激光器等器件上，以硅片为衬底的器件边缘需要减反膜层。因此急需有效技术在多片叠加激光器侧表面与工艺气体接触，一次形成减反膜的解决方案。

实用新型内容

本实用新型的目的是针对现有技术中存在的不足，提供一种结构简单、能够同时实现单面镀膜、双面镀膜、侧面镀膜以及能够实现批量镀膜的机构。

一种镀膜载具，其包括固定板、固定组件及滑动组件；所述固定板设有两个；所述固定组件的两端固定在两个固定板上，固定组件上设有至少一个齿槽，待镀膜物体插入齿槽中。所述滑动组件与固定组件相对运动，推挤固定组件齿槽内的待镀膜物体，滑动组件与固定组件的齿槽共同固定待镀膜物体。

所述滑动组件上设有齿槽，待镀膜物体插入固定组件与滑动组件的齿槽内，所述滑动组件与固定组件相对运动，待镀膜物体通过固定组件和滑动组件交错的齿槽固定。

所述滑动组件相对于固定组件做直线运动，滑动组件的齿槽推动固定组件的齿槽内的待镀膜物体，直至待镀膜物体在固定组件与滑动组件交错的齿槽内固定。

所述滑动组件相对于固定组件做旋转运动，滑动组件的齿槽推动固定组件的齿槽内的待镀膜物体，直至待镀膜物体在固定组件与滑动组件交错的齿槽内固定。

优选的技术方案，固定组件为固定齿棒，滑动组件为滑动齿棒；固定齿棒的两端固定在两固定板上，滑动齿棒的两端可活动的支撑在固定板上，固定齿棒与滑动齿棒上均设有齿槽，推动滑动齿棒，滑动齿棒的齿槽推挤待镀膜物体，滑动齿棒上的齿槽与固定齿棒上的齿槽交错固定待镀膜物体。

所述镀膜载具设有至少两个固定齿棒，每个固定齿棒设有至少一个齿槽，多个固定齿棒上的齿槽一一对应。

所述固定齿棒的齿槽放置至少一个待镀膜物体。

所述滑动齿棒上设有至少一个齿槽；滑动齿棒上的齿槽与固定齿棒上的齿槽相对应，待镀膜物体插入滑动齿棒与固定齿棒的齿槽中，推动滑动齿棒，滑动齿棒的齿槽推挤待镀膜物体，待镀膜物体挤压固定在交错的滑动齿棒齿槽与固定齿棒上的齿槽上。

滑动齿棒端部为光杆或者设有螺纹或者带定位槽，滑动齿棒的两端部间隙配合在固定板上的孔内。

所述滑动齿棒端部为光杆，滑动齿棒的一端连接气缸轴或者电机；滑动齿棒一端与固定板上的孔间隙配合，在滑动齿棒的轴肩与固定板之间设复位弹簧，气缸或者电机推动滑动齿棒沿轴向直线运动。

滑动齿棒端部设有螺纹，滑动齿棒螺纹端连接电机及固定组件；滑动齿棒的另一端与固定板上的孔间隙配合，在滑动齿棒的轴肩与固定板之间设复位弹簧，电机带动固定组件，固定组件驱动滑动齿棒上的螺纹端的旋转运动，滑动齿棒相对于固定齿棒旋转并沿滑动齿棒轴向直线运动。