[实用新型]一种纳米压印模板有效
| 申请号： | 201820003232.6 | 申请日： | 2018-01-02 |
| 公开（公告）号： | CN207623679U | 公开（公告）日： | 2018-07-17 |
| 发明（设计）人： | 张笑 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京正理专利代理有限公司 11257 | 代理人： | 张雪梅 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 显示区 非显示区 模版 纳米压印模板 本实用新型 显示区域 纳米压印模版 工艺成本 骨架结构 图案化层 压印工艺 压印模板 压印压力 基板 增高 支撑 | ||
1.一种纳米压印模板，其特征在于，包括显示区和保护显示区不被破坏的非显示区，所述非显示区高度大于显示区高度，所述非显示区支撑压印模板以使显示区不与位于基板上方的图案化层接触。
2.根据权利要求1所述的压印模板，其特征在于，所述显示区与非显示区交替间隔设置，所述显示区和非显示区包括多个间隔设置的突起部，所述显示区的突起部表面设有压印图案。
3.根据权利要求2所述的压印模板，其特征在于，所述非显示区的突起部高度大于显示区的突起部高度。
4.根据权利要求3所述的压印模板，其特征在于，所述基板上方从上到下依次设有压印胶层和图案化层。
5.根据权利要求4所述的压印模板，其特征在于，所述显示区的突起部与压印胶层接触并将图案压印在压印胶层上，所述非显示区的突起部穿过压印胶层与图案化层接触。
6.根据权利要求2所述的压印模板，其特征在于，所述显示区和非显示区的突起部的宽度和各个突起部的间隔大小范围是10nm～10um，根据待印图案的尺寸确定。
7.根据权利要求2所述的压印模板，其特征在于，所述显示区和非显示区的突起部截面为矩形。
8.根据权利要求2所述的压印模板，其特征在于，所述显示区和非显示区的突起部上设有对位标记，所述基板上设有与对位标记一一对应的位置标记。
9.根据权利要求8所述的压印模板，其特征在于，所述对位标记为设置在每个突起部四个顶点出的方框标记，所述位置标记为由遮光条构成的十字标记。
10.根据权利要求1所述的压印模板，其特征在于，所述压印模板由碳素钢板、碳化硅板、金属镍板或含氟聚合物制成。
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