[发明专利]一种微波干燥装置在审
| 申请号： | 201811645200.7 | 申请日： | 2018-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN111380331A | 公开（公告）日： | 2020-07-07 |
| 发明（设计）人： | 李勇滔;景玉鹏 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | F26B3/347 | 分类号： | F26B3/347;F26B23/08 |
| 代理公司： | 北京华沛德权律师事务所 11302 | 代理人： | 房德权 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 微波 干燥 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种微波干燥装置，其特征在于，包括腔体，在所述腔体内设有载片台和微波耦合器，所述载片台用于承载已显影置换后的晶圆，所述微波耦合器通过微波传输导线与微波功率源相连接，所述腔体内还设有开口，所述开口通过导管与外部的真空泵组相连，将所述腔体内的水汽排出至所述腔体外。
2.根据权利要求1所述的微波干燥装置，其特征在于：所述腔体内还设有紫外固化灯。
3.根据权利要求1所述的微波干燥装置，其特征在于：所述载片台具有真空吸附装置，通过所述真空吸附装置将所述晶圆固定在所述载片台上。
4.根据权利要求1所述的微波干燥装置，其特征在于：所述微波功率源的频率范围为900MHz至13GHz。
5.根据权利要求1所述的微波干燥装置，其特征在于：所述微波功率源的额定输出功率范围为100W至5000W。
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