[发明专利]倒置QLED器件的制备方法有效

专利信息
申请号: 201811631537.2 申请日: 2018-12-29
公开(公告)号: CN109755417B 公开(公告)日: 2021-03-23
发明(设计)人: 张育楠 申请(专利权)人: 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
主分类号: H01L51/56 分类号: H01L51/56;H01L51/50;H01L51/54
代理公司: 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 代理人: 黄威
地址: 518132 广东省深*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 倒置 qled 器件 制备 方法
【说明书】:

本申请提供一种倒置QLED器件的制备方法,包括一制备电子传输层的制程,制备电子传输层的制程包括制备电子传输层的前驱体溶液;调节前驱体溶液的表面张力和黏度,以适应喷墨打印的需求;采用喷墨打印工艺将调节完毕的前驱体溶液喷涂在阴极层上,并干燥形成一膜层;热处理膜层,以形成电子传输层。本申请通过采用原位反应法形成电子传输层,提高了电子传输层的成膜性、均一性和平整性。

技术领域

本申请涉及一种显示技术,特别涉及一种倒置QLED器件的制备方法。

背景技术

在QLED(Quantum Dot Light Emitting Diodes,量子点发光二极管)器件中,一般采用ZnO(氧化锌)作为器件的电子传输层,但是利用ZnO纳米粒子溶液的方法制备得到的ZnO薄膜成膜性差,很难得到平整的薄膜,进一步影响器件的光电性能。

发明内容

本申请实施例提供一种倒置QLED器件的制备方法,以解决现有的倒置QLED器件的电子传输层的成膜性和平整性差的技术问题。

本申请实施例提供一种倒置QLED器件的制备方法,其包括:

步骤S1,提供一基板;

步骤S2,在所述基板上形成具有凹陷部的像素界定层;

步骤S3,在所述凹陷部内形成阴极层;

步骤S4,在所述阴极层上形成电子传输层;

步骤S5,在所述电子传输层上依次形成发光层、空穴传输层和阳极层;

其中所述步骤S4包括:

步骤S41,制备所述电子传输层的前驱体溶液;

步骤S42,调节所述前驱体溶液的表面张力和黏度,以适应喷墨打印机的需求;

步骤S43,采用喷墨打印工艺将调节完毕的前驱体溶液喷涂在所述阴极层上,并干燥形成一膜层;

步骤S44,热处理所述膜层,以形成所述电子传输层。

在本申请的倒置QLED器件的制备方法中,所述步骤S41包括:

将二水合乙酸锌加入到乙二醇甲醚和乙醇胺的混合溶液中;

在第一设定温度下,搅拌第一设定时间,获得所述电子传输层的前驱体溶液。

在本申请的倒置QLED器件的制备方法中,所述乙二醇甲醚和所述乙醇胺的配比比例为625:18;

所述二水合乙酸锌的浓度介于0.08g/ml~0.11g/ml之间。

在本申请的倒置QLED器件的制备方法中,所述第一设定温度介于50℃~70℃之间,所述第一设定时间大于等于10小时。

在本申请的倒置QLED器件的制备方法中,所述步骤S42包括:

向所述前驱体溶液中加入表面张力调节剂,以使所述前驱体溶液的表面张力达到喷墨打印机的要求;

向所述前驱体溶液中加入黏度调节剂,以使所述前驱体溶液的黏度达到喷墨打印机的要求。

在本申请的倒置QLED器件的制备方法中,所述表面张力调节剂选自于咪唑及其衍生物、苯酚和对苯二酚中的一种或多种的组合,所述黏度调节剂选自于醇、醚、酯、酚和胺中的一种或多种的组合。

在本申请的倒置QLED器件的制备方法中,所述步骤S43的干燥制程在真空的状态下进行,且真空度小于等于1*10-4Pa。

在本申请的倒置QLED器件的制备方法中,所述步骤S44包括:

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